Occasion HORIBA PD2-HR #9399895 à vendre en France

HORIBA PD2-HR est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour analyser et inspecter les dispositifs semi-conducteurs fabriqués par photolithographie. Il a été spécifiquement développé pour inspecter des défauts qui ne peuvent être détectés par des techniques optiques classiques ou d'autres systèmes d'imagerie électronique. Le système se compose de composants comprenant la chambre à vide, la console de commande, le matériel, l'étage et le scanner. La chambre à vide abrite les composants matériels tandis que la console de commande est utilisée pour entrer les paramètres d'inspection et lancer le processus. L'étage abrite la plaquette semi-conductrice et est utilisé pour déplacer la plaquette selon le processus d'inspection défini par l'utilisateur. Enfin, le scanner est constitué du canon à électrons et de l'optique, qui focalise un faisceau d'électrons sur la surface de la plaquette. Le faisceau d'électrons fonctionne en deux modes : le balayage et l'imagerie. En mode balayage, le faisceau est râpé à travers la plaquette pour recueillir des données relatives à la morphologie de surface, telles que la taille, la forme, la profondeur et la position des particules. En mode imagerie, le faisceau est incliné à l'aide de bobines de déviation pour prendre des images haute résolution de la plaquette. PD2-HR utilise un microscope électronique à ultra haute résolution pour s'assurer que les défauts critiques peuvent être détectés. Sa résolution au microscope est 3x plus élevée que les microscopes électroniques classiques, ce qui signifie que les défauts des technologies avancées de semi-conducteurs (20 nm de noeuds et plus mince) peuvent être détectés rapidement et avec précision. De plus, son unité automatisée d'examen des défauts assistée par ordinateur le rend facile à visualiser et à noter les défauts potentiels. La machine dispose également de capacités avancées d'analyse de données et la possibilité de sauvegarder et de stocker des images et des données. Il dispose également d'algorithmes d'inspection avancés pour identifier et classer les types de défauts potentiels, y compris les différents types de contamination par les particules, les rayures, la corrosion, les lignes de circuits brisées et les emplacements de mémoire. En conclusion, HORIBA PD2-HR est un puissant outil d'inspection de masques et de plaquettes capable de détecter des défauts mineurs dans les dispositifs semi-conducteurs avancés. Il dispose d'un microscope électronique à haute résolution et d'un outil automatisé d'examen des défauts assistés par ordinateur, de capacités d'analyse de données avancées et de la capacité de sauvegarder et de stocker facilement des images et des données. C'est un outil idéal pour un large éventail de processus d'inspection des plaquettes.