Occasion HYPERNEX XRD #9311079 à vendre en France
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HYPERNEX XRD est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour examiner et analyser les défauts avec une extrême précision. Le système utilise la dernière technologie d'inspection optique automatisée (AOI) pour inspecter et mesurer les défauts dans les masques de lithographie ultraviolets extrêmes (EUV), les films et les caractéristiques structurées des plaquettes. Grâce à l'inspection optique automatisée, XRD est capable d'inspecter des caractéristiques dont la taille ne dépasse pas 50 nm, avec un niveau élevé de précision et de vitesse. HYPERNEX XRD utilise une unité d'imagerie optique avec une résolution extrêmement élevée, afin d'effectuer un examen des caractéristiques les plus minuscules. Il est équipé d'une machine d'imagerie adaptative à plusieurs ouvertures, d'une résolution optique inégalée et d'une précision de recouvrement inégalée de 5 nm, ainsi que d'un mode ultra-haut débit Reticle Scanning. XRD est conçu avec un logiciel intégré exceptionnel appelé [TMP_NAME], où il est capable de mesurer un large éventail d'éléments critiques tels que les motifs, les tailles de défauts, la profondeur, le pont latéral (SB), la rugosité des bords de ligne (LER), les coins de pont, les variations de largeur de ligne et les grappes de défauts. Avec son gabarit en ligne entièrement automatisé, il est capable de fournir des données d'enregistrement et de placement de haute précision, avec une précision de 0,1 um. En outre, l'outil est conçu pour analyser rapidement un grand nombre de données de mesure avec une grande précision et stabilité. L'atout dispose d'une interface graphique conviviale, d'un modèle de gestion de données puissant et d'un support pour plusieurs langages. En outre, il offre une connexion USB et réseau pour le transfert de données, ainsi que des connexions Ethernet et RS232/RS485 standard pour la télécommande. En outre, l'équipement a également la capacité de contrôler le niveau d'exposition à l'image pour optimiser à la fois l'inspection des défauts et la précision de recouvrement, assurant des mesures précises indépendamment de la variation de l'échantillon et des changements environnementaux. Dans l'ensemble, HYPERNEX XRD est une capacité d'inspection et d'analyse avancée qui fournit des résultats inégalés et un meilleur contrôle de la qualité. Il est conçu pour garantir une précision extrême pour l'inspection des caractéristiques du masque et de la plaquette sur des caractéristiques allant de 50 nm et moins. Il est idéal pour la fabrication de semi-conducteurs et offre un haut degré de flexibilité, de rentabilité et de fiabilité.
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