Occasion KEM / KOKUSAI VR-70 #9157351 à vendre en France

KEM / KOKUSAI VR-70
ID: 9157351
Resistivity measurement system.
KEM/KOKUSAI VR-70 est un masque haute performance et un équipement d'inspection des plaquettes qui est conçu pour l'inspection des photomasques et des plaquettes. Il effectue de multiples inspections, y compris l'inspection optique, la classification des défauts, le dénombrement des défauts, l'impression, la planéité, la surface de la matrice et la mesure de la planéité des plaques. Le système utilise une unité avancée de formation d'images à haute résolution pour acquérir des images en temps réel de surfaces photomasques ou wafer avec une excellente répétabilité et précision. Les images acquises sont ensuite traitées par une machine d'imagerie laser ultra-haute vitesse et un algorithme d'inspection rapide au niveau de la matrice pour la localisation et la classification des défauts. KEM VR-70 fournit une vitesse d'inspection à grande vitesse, avec un débit de 3000 wafers/heure. L'outil utilise une technologie de beamforming avec une longueur d'onde de 532nm pour acquérir des images à une cadence de trame allant jusqu'à 250 images/seconde, et une résolution de qualité d'image allant jusqu'à 75nm. Les images acquises sont ensuite soumises à une analyse de surface avancée des plaquettes pour la détection, la classification et le comptage des défauts. Il peut détecter et classer les défauts, tels que les défauts, les motifs et les erreurs d'impression, avec une grande précision et fiabilité. En outre, KOKUSAI VR-70 offre une interface d'opérateur automatisée et conviviale, qui permet à l'utilisateur de configurer efficacement les mesures, d'analyser les résultats et de confirmer la qualité. Le modèle dispose également d'un équipement de balayage de réseau à diffraction linéaire (LDSS) qui fournit une mesure stable, haute résolution et fiable de la planéité des plaquettes de différentes tailles d'impression. Le système est capable de fournir des vibrations de surface précises et la mesure de l'inclinaison pour répondre aux exigences strictes pour la topologie de surface. En résumé, VR-70 est une unité avancée d'inspection des masques et des plaquettes qui fournit une haute performance, précision et fiabilité pour l'inspection des surfaces des photomasques et des plaquettes. Il est équipé d'une machine avancée de formation d'images à haute résolution, d'un outil d'imagerie laser ultra-rapide et d'algorithmes d'inspection au niveau de la matrice qui permettent à l'actif de détecter, classer et compter rapidement et avec précision les défauts sur la surface de la plaquette. Le modèle dispose également d'une interface d'opérateur automatisée et conviviale ainsi que d'un équipement de balayage par réseau à diffraction linéaire (LDSS) pour la mesure précise de la topologie de surface.
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