Occasion KLA / ICOS CI 9450 #9159845 à vendre en France

KLA/ICOS CI 9450 est un équipement d'inspection optique automatisé pour l'inspection des plaquettes et des masques. Il est équipé de plates-formes avancées d'optique, d'électronique et de contrôle logiciel qui permettent aux utilisateurs de mesurer avec précision les fonctionnalités jusqu'au niveau sub-micron. KLA CI 9450 est conçu pour effectuer une large gamme de tâches d'inspection optique automatisée telles que la détection des défauts de géométrie, des défauts de surface des plaquettes, des caractéristiques surgravées et des largeurs de ligne de mesure. Il peut être utilisé à la fois dans les environnements de fabrication et de test de plaquettes. Le système est composé de plusieurs composants, dont une tourelle objective, des agrandisseurs, une source lumineuse, des caméras et un logiciel de traitement d'image. La tourelle objectif est capable d'une plage de grossissement de 10x à 250x et peut supporter plus de 11 objectifs. Il fonctionne à une vitesse maximale de 2,5 rotations par seconde et est très précis, ce qui permet de mesurer et d'analyser avec précision les caractéristiques les plus petites. La source lumineuse est équipée de LED qui peuvent fournir une gamme de longueurs d'onde allant de 400 nanomètres (nm) à 900 nm, ce qui permet aux utilisateurs de détecter divers défauts, notamment des contaminants métalliques, des écaillage de photorésist, des particules et d'autres défauts de surface des plaquettes et des masques. Les caméras utilisent une unité d'imagerie CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) de 4 mégapixels pour capturer des images avec une taille de pixel de 5,4 μ m à une résolution maximale de 3000 dpi (points par pouce). En outre, en utilisant plusieurs caméras avec un FOV (champ de vision) de 3mm chacune, la machine est en mesure de visualiser une plaquette entière en un seul coup. Les images inspectées sont ensuite traitées par des logiciels propriétaires d'imagerie et de reconstruction. Ce logiciel permet à l'outil de détecter les défauts et de les quantifier pour une analyse plus approfondie. Il fournit à l'utilisateur une variété d'aides visuelles, telles que le zoom, les lignes de contour ou l'imagerie, ainsi que d'autres paramètres tels que le contraste, la luminosité, la superrésolution, la polarité, l'orientation et d'autres paramètres. En résumé, ICOS CI-9450 est un outil d'inspection automatisé, de haute précision et à grande vitesse. Il est conçu pour fournir des mesures précises avec une excellente qualité d'image. Sa puissante optique, l'imagerie et le support logiciel fournissent une plate-forme d'inspection robuste et fiable qui convient à la fois à des fins de fabrication et d'inspection.