Occasion KLA / ICOS CI 9450 #9159881 à vendre en France
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ID: 9159881
Style Vintage: 2003
Lead inspection system
Camera: Yes
HDD: No
2003 vintage.
KLA/ICOS CI 9450 masque et wafer inspection equipment est un système polyvalent et précis pour contrôler la qualité des masques et wafers utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'une unité d'inspection des plaquettes à haut débit optimisée pour l'image des petites caractéristiques et des défauts sur les plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour inspecter uniquement les plaquettes propres et ne convient pas pour inspecter les plaquettes humides. La machine est capable de détecter de petites caractéristiques ou défauts avec des résolutions supérieures à 1 micron de diamètre. KLA CI 9450 comprend un outil d'imagerie multifonctions qui comprend un appareil photo numérique haute résolution et une optique avancée. L'actif d'éclairage consiste en un réseau d'éclairage LED de grande puissance et un séparateur de faisceau pour l'imagerie optique tandis que les étages de balayage sont capables de déplacer le masque ou la plaquette dans l'axe x, y et z. L'imagerie est réalisée par un processus de vision en plusieurs étapes où une image à faible résolution est prise à grande vitesse pour établir l'état global. Toutefois, si des défauts sont détectés, une imagerie plus détaillée est possible. Ceci est réalisé en se déplaçant vers différents points de la plaquette et en ciblant individuellement les défauts. ICOS CI-9450 peut vérifier les défauts tels que les défauts de la matrice, les particules sombres ou claires, les arcs, les bulles et les trous d'épingle. Le modèle d'inspection des masques et des plaquettes permet également d'enregistrer l'emplacement du défaut dans le cadre de la carte des défauts et de fournir une classification automatique des plaquettes comme Good, Average ou BG. La polyvalence matérielle et logicielle de l'équipement le rend adapté à diverses applications, y compris les inspections au niveau des plaquettes, des cellules et des appareils sur un large éventail de types de plaquettes, y compris les LCD, les masques et les plaquettes lithographiques, les cartes RF, les ICs assemblés et emballés et les CMOS. Les systèmes avancés d'optique et d'éclairage garantissent que la qualité de l'image est suffisante pour permettre des inspections fiables. KLA/ICOS CI-9450 est en mesure de fonctionner en mode automatisé ainsi qu'en mode de balayage manuel où l'opérateur peut sélectionner la zone de balayage et choisir combien de die à inspecter. La capacité intégrée d'analyse des défauts du système aide à la détection automatique des défauts ainsi qu'à l'enregistrement des informations défectueuses qui peuvent être étudiées pour plus de détails. L'unité est équipée d'un administrateur avancé et d'un logiciel de gestion des données pour la mise en place et le fonctionnement de la machine d'inspection des masques et des plaquettes. Ce logiciel facilite la production de rapports sur le processus d'inspection et permet également d'interpréter les données afin que des mesures correctives appropriées puissent être prises lorsque des défauts sont décelés. En général, le masque de CI-9450 et l'outil d'inspection de gaufrette sont un robuste, un fiable et facile à utiliser l'actif pour inspecter la qualité de masques et de gaufrettes. Il est très efficace et a la capacité de détecter de petits défauts que d'autres systèmes d'inspection pourraient ne pas être en mesure de détecter.
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