Occasion KLA / ICOS CI 9450 #9173937 à vendre en France
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ID: 9173937
Lead inspection system
With handler
(1) Pass devices output tray
(2) Reject output trays
Configuration:
(1) Multi tray input module
(2) Multi tray output module for pass devices
(3) Multi tray output module for reject devices
(4) Single tray output module for reject devices.
KLA/ICOS CI 9450 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour offrir des performances de rendement élevées. Il est le successeur de KLA CX 9350, intégrant une automatisation avancée et des capacités matérielles et logicielles personnalisables. Le système utilise simultanément l'imagerie par champ lumineux, champ noir et UV, ainsi que des techniques brevetées de superposition améliorée pour assurer une détection et une classification précises des défauts. L'appareil dispose d'un appareil photo numérique de 25 mégapixels et d'un appareil photo numérique de 8 mégapixels de faible niveau de lumière, chacun avec un objectif à deux entrées. Le grand champ de vision et la haute résolution offrent des performances supérieures sur une large gamme de tailles et de types de plaquettes. En outre, l'outil est également équipé d'une capacité d'imagerie par contraste de phase binaire UV pour améliorer l'imagerie de matériaux transparents. Les CCD à la fine pointe de la technologie KLA CI 9450 offrent une sensibilité optique supérieure, avec des artefacts améliorés tels que la photorésistance 3D. De plus, la technique brevetée de recouvrement amélioré de l'actif est incorporée pour détecter et catégoriser les défauts potentiels liés au recouvrement. En termes de vitesse d'inspection, le modèle a une accélération maximale de 6G, permettant plus de 640 inspections de plaquettes par heure. L'équipement supporte également la caractéristique de parallélisme, qui permet d'aligner plusieurs motifs ou cibles en parallèle des plaquettes continues. En outre, ICOS CI-9450 comprend des capacités d'automatisation avancées, telles que l'éjection automatique de modules et des capacités de charge/déchargement de motifs multiples, afin de maximiser le débit. CI-9450 fournit aux utilisateurs un contrôle amélioré et automatisé du flux de travail à l'aide d'une variété de mesures conviviales. Cela comprend la capacité de gérer jusqu'à 10 objectifs intégrés par objectif, des rapports combinés avec des vues détaillées des données, et des outils faciles de création d'emplois par quart. Dans l'ensemble, KLA/ICOS CI-9450 est un système d'inspection de masque et de plaquettes perfectionné et très précis qui dispose d'un contrôle automatisé du flux de travail avancé, de capacités d'inspection à grande vitesse et d'une résolution d'imagerie supérieure. Il est parfait pour ceux qui recherchent des performances de rendement améliorées et un débit plus rapide dans l'industrie des semi-conducteurs.
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