Occasion KLA / ICOS CI 9450 #9186346 à vendre en France
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KLA/ICOS CI 9450 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes leader sur le marché qui fournit des résultats d'inspection de défauts et d'essais électriques standard de l'industrie. Ce système entièrement automatisé est conçu pour inspecter les photomasques et les plaquettes avec une précision et une répétabilité supérieures. L'unité couvre toutes les variétés de masques et de plaquettes, y compris le rapport d'aspect élevé, la grande et la forme irrégulière, et d'autres dispositifs difficiles à inspecter. Il utilise quatre systèmes de détection distincts mais synchronisés : une machine d'imagerie, un outil électrique, un atout de reconnaissance de motifs et un modèle d'inspection, pour représenter avec précision toutes les caractéristiques du masque et de la plaquette. L'équipement d'imagerie se compose d'un microphone 4K et d'une caméra haute résolution pour capturer les défauts de surface et les motifs de masque. Il est couplé avec des lentilles 2D avec la technologie autofocus pour maximiser la qualité d'image. Grâce à la technologie de détection de profondeur en temps réel et au traitement avancé de l'image, le système peut capturer un large éventail de détails de surface, y compris : l'espacement die-to-die, les largeurs de ligne, les ouvertures de contact, la protubérance et les contraintes de bord, et plus encore. L'unité électrique intègre également le microphone 4K, en utilisant le son pour détecter les raccourcis électriques et s'ouvre, ainsi que des variations mineures du flux de courant. Il est conçu avec la construction de chambre blindée avec une machine de commande de hauteur pneumatique réglable pour assurer des performances électriques cohérentes. L'outil de reconnaissance de motifs dispose d'un processeur multi-cœur de haute puissance et d'algorithmes avancés de reconnaissance de motifs. Cet actif est conçu pour reconnaître les défauts dans les modèles de masques et les inspecter pour les défauts. Le modèle d'inspection comprend une tête d'inspection optique sophistiquée avec un champ de vision 4K et des algorithmes de catégorisation des défauts de pointe. Cet équipement offre une inspection rapide et fiable des défauts de 1µm ou plus, ainsi que pratiquement n'importe quel modèle de conception complexe. Dans l'ensemble, KLA CI 9450 est un système de détection avancé avec une gamme de technologies de pointe qui inspectent efficacement les masques et les plaquettes complexes et s'assurent qu'ils sont sans erreur. Sa conception robuste et fiable permet de prévenir les pertes de produits et de maximiser les économies. Avec la capacité de détecter chaque caractéristique de surface avec une grande précision, il est l'outil idéal pour tous les besoins d'inspection de photomasque et de wafer.
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