Occasion KLA / ICOS CI 9450 #9363158 à vendre en France
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KLA/ICOS CI 9450 est un équipement automatisé haut de gamme d'inspection des masques et des plaquettes qui offre des capacités supérieures d'inspection des plaquettes et des masques pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système est composé de trois composantes principales : un Mask Inspection Unit (MIS), une Wafer Inspection Machine (WIS), et un Computer Integrated Tool (CIS). KLA CI 9450 est conçu pour fournir la précision et la vitesse dans l'inspection des masques et des plaquettes, donnant aux utilisateurs finaux un contrôle complet sur le processus d'inspection. Le Mask Inspection Asset (MIS) est un modèle optique comprenant l'acquisition d'images monochromes, la correction de distorsion optique et l'analyse du front d'onde. Cet équipement est utilisé pour détecter les défauts et la contamination à la surface du masque. Le Wafer Inspection System (WIS) est composé d'un module de lithographie de précision, d'une unité optique intégrée et d'un logiciel de correction d'image qui fournit des capacités fiables d'inspection de surface des plaquettes et d'acquisition d'images. Le WIS est utilisé pour détecter les défauts et la contamination à la surface de la plaquette. Enfin, la machine intégrée informatique (CIS) est un outil informatique chargé de contrôler tous les systèmes d'inspection, de contrôler le flux de travail et de gérer les données des plaquettes et des masques. ICOS CI-9450 utilise une gamme de technologies de pointe, y compris l'imagerie ultramoderne en champ lumineux et l'imagerie par contraste différentiel (DIC) pour détecter et marquer avec précision les défauts et la contamination sur les plaquettes et les masques. Une série de filtres lumineux, de lentilles optiques et de caméras désagrégées sont intégrés à l'actif pour fournir une inspection supérieure. Le modèle comprend également une variété d'outils automatisés d'inspection et de déclaration, comme la classification des défauts et le contrôle des processus. Enfin, l'équipement intègre la robotique de précision pour automatiser l'ensemble des processus d'inspection des masques et des plaquettes. Cela garantit la précision, augmente la vitesse du processus d'inspection et réduit le risque d'erreur humaine. Le système offre également des capacités complètes de documentation et de programmation à bord, ainsi qu'une traçabilité complète pour tous les résultats d'inspection. Ainsi, les clients peuvent être assurés que KLA CI-9450 fournira des résultats d'inspection précis et fiables pour chaque lot de masques et de plaquettes.
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