Occasion KLA / ICOS CI 9450 #9363159 à vendre en France
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L'équipement KLA/ICOS CI 9450 Masque et Wafer Inspection Equipment est conçu pour répondre aux exigences de qualité rigoureuses de l'inspection à la fine pointe de la technologie. Il offre une haute résolution d'imagerie de qualité de production, la réparation automatisée du système en temps réel, et des capacités d'inspection étendues pour fournir une fidélité maximale des motifs, la détection des défauts, et l'assurance de rendement. L'appareil est équipé d'une caméra plein cadre haute résolution de 6 mégapixels, permettant une résolution supérieure à 1 µm et une précision de mesure supérieure à 1 µm. Il est également capable de capturer des données d'image en mode linéaire et multi-vues. Une source d'émission dynamique à champ froid remplaçable offre l'éclairage optimal pour détecter les défauts, tandis que la technologie d'éclairage adaptatif de la machine assure des résultats optimisés par contraste. Les capacités avancées de détection des défauts de l'outil comprennent la classification automatisée et le tri des défauts, la classification assistée des défauts, l'atténuation des faux positifs et le contrôle des processus. Il peut examiner un large éventail de défauts, des défauts supérieurs à 0,8 µm aux défauts ultra-minuscules inférieurs à 500 nm. Le KLA CI 9450 est également équipé d'un outil d'alignement coordonné à grande efficacité mondiale et de capacités de réparation automatisées des actifs afin de réduire le temps d'inspection potentiellement perdu et d'améliorer le rendement. Le modèle comprend un tableau de bord complet pour visualiser, analyser et gérer les résultats des inspections. La traçabilité complète de toutes les inspections est également assurée, ce qui permet d'évaluer rapidement les changements de processus de lithographie et de vérifier les conditions et les résultats des inspections. De plus, l'équipement est intégré avec une interface de rapport puissante pour permettre une analyse de la conception pour la manufacturabilité plus efficace. ICOS CI-9450 fournit un accès à distance à grande vitesse, et l'option de mesure calibrée du système valide la précision et la fiabilité des défauts de mesure. L'unité offre également une grande variété de fonctionnalités logicielles, y compris auto-focus, wafer-flat auto-détection, et des fonctions de niveau-mémoire. La plate-forme logicielle CORE Machine offre une expérience utilisateur approfondie et intuitive, ce qui fait de l'outil un choix idéal pour l'inspection sur support modélisé.
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