Occasion KLA / ICOS CI-T120 #293812251 à vendre en France
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KLA/ICOS CI-T120 est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes, employé dans l'industrie des semi-conducteurs, qui a été conçu pour identifier et déterminer les défauts potentiels des semi-conducteurs. Il utilise des algorithmes avancés de traitement d'images pour analyser des images de masques et de plaquettes à très haute résolution (qui est jusqu'à 16 mégapixels capacité d'imagerie). De plus, le système comprend un étage de plaquette à six axes, un étage de masque à quatre axes et une lampe d'alignement vertical pour l'imagerie à haut débit pour des tâches spécialisées. De plus, il a la capacité d'analyser des modèles tels que le capteur d'image de contact (CIS) qui peut être utilisé pour évaluer automatiquement les produits fils liés à la matrice et la reconnaissance structurée 3D qui peut mesurer automatiquement des points de données statistiquement significatifs avec la reconnaissance d'erreurs de géométrie 3D à partir de la même image comparative. KLA CI T120 dispose également d'une capacité intégrée de révision des défauts, de reconnaissance de film épais d'erreur, de mesure et de révision des lignes TFT, de mesures d'une puce entière (ce qui permet une révision des défauts de haute précision) ainsi que de la capacité d'analyser les gouttes de soudure pour détecter les défauts potentiels. L'unité est équipée de deux scanners différents, le « scanner à masques » qui est conçu pour inspecter les masques avant exposition et le « scanner à plaquettes » qui permet l'inspection et la caractérisation des plaquettes pendant le processus de production. Le scanner de masque utilise une LED à haute puissance pour l'éclairage et deux caméras à haute résolution pour capturer des images amplifiées des masques pour une évaluation précise. Le scanner de la plaquette comprend une source UV avancée et une machine d'imagerie qui permet la capture et la collecte à grande vitesse des images de la plaquette entière. ICOS CI T-120 est capable de fournir une inspection en ligne fiable avec des vitesses d'acquisition de données extrêmement rapides. Le débit d'imagerie a été augmenté avec l'utilisation de nouvelles techniques d'acquisition de données et d'algorithmes spécialement conçus pour l'outil. Les exploitants peuvent procéder à une inspection complète des défauts au moyen de trois modes d'inspection : examen intégré des défauts, examen de certains types de défauts ou inspection au niveau des puces. Cela permet d'évaluer rapidement de grandes quantités de données sans avoir à investir dans des équipements supplémentaires. De plus, les recettes d'inspection peuvent être combinées pour maximiser l'efficacité, réduisant l'inspection des sangles et la multiplication des faux défauts. En conclusion, KLA/ICOS CI T-120 est un outil avancé et fiable d'inspection de masques et de plaquettes qui fournit des capacités puissantes, y compris l'imagerie de seize mégapixels, l'étage de plaquettes à six axes, l'étage de masque à quatre axes et la lampe d'alignement vertical, et la capacité d'analyser des modèles tels que Contact Image Sensor (CIS). Il peut rapidement évaluer les défauts et automatiser la production de semi-conducteurs en combinant des modes d'inspection complets et une évaluation rapide de grands volumes de données.
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