Occasion KLA / ICOS CI-T120 #293826047 à vendre en France

KLA / ICOS CI-T120
ID: 293826047
Scanner.
KLA/ICOS CI-T120 est un système avancé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour la métrologie de précision et les besoins d'analyse des matériaux des étapes de fabrication des semi-conducteurs de pointe. Il dispose de systèmes exclusifs d'inspection optique avancée et d'alignement automatisé pour garantir la plus haute qualité et performance de métrologie et répondre aux exigences les plus difficiles. Le système est capable d'inspecter les photomasques jusqu'au noeud technologique de 60nm. KLA CI T120 est équipé d'une imagerie spectroscopique de champ lumineux brevetée KLA pour améliorer la sensibilité. Cela permet une plus grande vitesse d'acquisition, une meilleure précision d'inspection et un champ de vision plus élevé (FOV). L'imagerie par champ lumineux permet des variations de contraste en opérant sous différentes sources : champ lumineux réfléchi (MRBS), éclairement de champ sombre (MDBS) et éclairage ultraviolet (MUV). ICOS CI T-120 dispose également d'une capacité avancée de reconnaissance de motifs optiques ICOS, avec des caractéristiques telles que la mesure de largeur de ligne (LWM), la mesure de trous de contact (CHM) et l'extraction MEEF (MEEF). En plus de sa qualité d'image élevée, CI T-120 dispose également d'un alignement automatisé et d'une capacité de mise au point. Ces capacités assurent un alignement cohérent et précis de l'image sur le masque ou la plaquette, et une mesure rapide et précise de la caractéristique. Un algorithme d'alignement automatisé est utilisé pour une précision de positionnement optimale, tandis que la détection rapide de la focale permet un réglage rapide et précis de la focale fine. KLA CI-T120 dispose de capacités complètes d'analyse des données, permettant une analyse détaillée des défauts. Il comprend à la fois la surveillance des défauts en temps réel et la capacité d'étendre une inspection statique pour répondre à une large gamme de structures d'appareils. Il a également un moteur d'analyse à haut débit et une classification avancée des défauts, pour un débit rapide et des résultats cohérents. CI T120 est conçu pour minimiser le coût total de la propriété. Il est construit à partir de pièces ultra-précises, avec une construction robuste pour assurer un fonctionnement stable. Il nécessite une formation minimale de l'opérateur, a un faible coût de consommables, et est conçu pour un débit et une productivité élevés. ICOS CI T120 est un système d'inspection avancé qui offre une précision et une fiabilité supérieures à un prix attractif. C'est la solution idéale pour ceux qui ont besoin de métrologie précise et d'analyse des matériaux dans les processus de fabrication de semi-conducteurs les plus difficiles.
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