Occasion KLA / ICOS CI-T120 #9221136 à vendre en France
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KLA/ICOS CI-T120 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour détecter les défauts dans les différentes couches de réticule et de matériau de plaquette. Le système a une résolution ultra élevée pour assurer une inspection claire et précise des matériaux. Il offre une visualisation améliorée de la topographie 3D, de la réflexion, de la transmission et des images fluorescentes sur les réticules et les plaquettes. L'unité comprend une suite avancée d'outils de traitement d'image pour distinguer les défauts potentiels des motifs ou caractéristiques réguliers. Il utilise une variété de systèmes d'éclairage et de microscopes - y compris un enregistreur de faisceau laser et un microscope optique - pour capturer un grand nombre d'images avec une résolution spatiale précise, ainsi que pour enregistrer leurs intensités. Cela permet une comparaison et une analyse précises de différentes images (p. ex., des images à différents grossissements). KLA CI T120 dispose également de capacités intégrées et automatisées d'inspection et d'examen des défauts, permettant à l'utilisateur d'inspecter et de mesurer facilement plusieurs défauts sur une plaquette donnée. La machine est capable d'identifier les types de défauts les plus courants, y compris les particules, les lignes, les cloques, etc. Il peut également détecter de légères variations de morphologie de surface et de couches. ICOS CI T-120 peut fonctionner à des vitesses allant jusqu'à 200 plaquettes par heure, ce qui réduit considérablement le temps d'inspection par rapport à la fenêtre de processus. En outre, CI-T120 est livré avec une série complète d'outils de rapport et d'analyse de données. Les rapports configurables par l'utilisateur permettent à l'utilisateur d'identifier rapidement les zones problématiques et d'améliorer la qualité de son processus. L'outil offre le contrôle en temps réel et l'affichage de différents paramètres pour mieux observer les écarts de processus. KLA CI T-120 est donc un outil inestimable pour la fabrication de plaquettes et de masques, permettant aux fabricants de détecter et de corriger rapidement les défauts dans le processus de production. Il aide à réduire les coûts des masques et plaquettes non repérés ou retravaillés, et aide à réduire le temps de production perdu. En outre, le haut débit, la résolution et les capacités de détection automatisée des défauts de l'actif en font l'un des meilleurs systèmes d'inspection automatique des masques et plaquettes disponibles aujourd'hui.
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