Occasion KLA / ICOS CI-T120 #9237030 à vendre en France
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Vendu
ID: 9237030
Style Vintage: 2005
Inspection system
BGA Package: FOV 17x17mm
With 2D & 3D inspections
2005 vintage.
KLA/ICOS CI-T120 est un équipement d'inspection sophistiqué conçu pour les industries de fabrication de plaquettes et de masques. Il utilise une combinaison de technologie avancée d'imagerie laser, d'imagerie spectrale et d'analyse algorithmique pour détecter les particules microscopiques et d'autres contaminants à la surface du matériau semi-conducteur. Le système d'inspection comprend une unité d'imagerie laser haute résolution (HRLI), qui permet l'imagerie en temps réel des défauts de surface sur les plaquettes et les masques. Il permet aux opérateurs de visualiser tous les contaminants jusqu'à 25 nanomètres de taille, et de faire des ajustements précis à la configuration pour assurer des résultats reproductibles. KLA CI T120 comprend également une machine d'imagerie spectrale avancée (SI), qui travaille en conjonction avec le HRLI pour détecter de légères différences dans la réflectance de surface de différents défauts. L'outil SI permet d'identifier les incohérences dans les surfaces défectueuses qui ne peuvent être détectées par le HRLI. L'actif d'inspection est équipé des derniers algorithmes d'analyse algorithmique. Ceci permet une inspection automatisée, permettant la détection des plus petits défauts. Il regroupe symboliquement les défauts et les non-défauts, puis applique divers modèles statistiques pour identifier les contaminations. Cela permet au modèle de détecter avec précision et d'identifier de très petites différences qui pourraient autrement ne pas être détectées. ICOS CI T-120 est également modulaire et extensible. Son cadre est conçu pour permettre la mise à niveau et l'intégration de modules d'inspection supplémentaires pour les applications avancées. En outre, l'équipement offre des capacités de contrôle en temps réel et d'analyse hors ligne. Dans l'ensemble, KLA/ICOS CI T-120 est un système robuste et efficace d'inspection des plaquettes et des masques. Sa combinaison d'analyse HRLI, SI et algorithmique lui permet de détecter des défauts de surface avec une précision sans précédent. En outre, sa conception modulaire permet une variété d'applications et l'intégration de modules supplémentaires pour des tâches spécialisées.
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