Occasion KLA / ICOS CI-T120 #9281542 à vendre en France
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KLA/ICOS CI-T120 est un équipement avancé d'inspection des masques et des plaquettes pour les fabricants de semi-conducteurs. Il comporte une architecture distribuée composée de quatre composantes : capture/traitement d'images, analyse d'images, contrôle du système et stockage de données. Le composant capture/traitement d'images contient une caméra CCD haute résolution sur mesure pour capturer des images des masques et des plaquettes. Le capteur a un total de plus de 2 millions de pixels et peut capturer des images avec une résolution maximale de 10 microns. En outre, la machine contient du matériel de traitement d'image sophistiqué et des modules logiciels capables de détecter et de classer les défauts. Le composant analyse d'image dispose de matériel et de logiciels dédiés pour l'analyse des images capturées. L'outil utilise des algorithmes sophistiqués pour détecter les défauts et les classer en fonction de diverses caractéristiques telles que la forme, la taille, le contraste, et d'autres paramètres. De plus, l'actif peut effectuer des inspections du faisceau électronique, des rayons X et d'autres formes de faisceau de particules pour identifier les défauts du masque et de la plaquette. Le composant de contrôle de modèle est le cœur de KLA CI T120 et est responsable du bon fonctionnement de l'équipement. Il contient une carte informatique entièrement programmable pour contrôler la capture, l'analyse et le stockage des images. De plus, il contrôle les paramètres et les étalonnages du système, y compris le choix du temps d'exposition et la fréquence de l'analyse. La commande de l'unité fournit également des interfaces pour la communication directe avec d'autres systèmes de la fab. Enfin, le composant de stockage de données est conçu pour stocker toutes les données des masques et plaquettes inspectés. Il stocke à la fois les données brutes de la capture et du traitement de l'image, ainsi que la sortie de l'analyse de la composante d'analyse d'image. En outre, il dispose d'une machine de base de données pour stocker les résultats des tests, le journal de maintenance et d'autres informations pertinentes liées au fonctionnement de l'outil. Dans l'ensemble, ICOS CI T-120 est un actif avancé d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour répondre aux exigences des fabs de semi-conducteurs. Ses systèmes matériels et logiciels hautement personnalisés lui permettent de capturer des images avec une résolution de 10 microns, de détecter et de classer les défauts, ainsi que de stocker toutes les données collectées pour une analyse plus poussée et un dépannage. De plus, son architecture distribuée assure flexibilité et évolutivité ainsi que la compatibilité avec différentes configurations fab.
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