Occasion KLA / ICOS CI-T130 #293828078 à vendre en France

KLA/ICOS CI-T130 est un équipement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes basé sur l'imagerie de champ lumineux. Le système dispose d'un champ de vision de 390 mm x 520 mm, idéal pour l'inspection de grandes surfaces de photomasques et de plaquettes. KLA CI-T130 est équipé d'une caméra CCD haute résolution et de sources lumineuses LED tout en utilisant un traitement d'image avancé et des algorithmes spécifiques au client. Ce système est capable de détecter et de visualiser les défauts à la surface d'un photomasque et d'une plaquette avec une précision de 2-3 um, de manière entièrement automatisée. Le logiciel de l'unité permet une mesure 3D précise des défauts avec un rapport signal sur bruit de 4:1. Son interface utilisateur graphique 3D (UI) conviviale permet de personnaliser les paramètres d'inspection tels que le seuil de détection et l'analyse automatique d'image. Les utilisateurs peuvent également assigner différents paramètres de caméra, comme le gain, à différentes zones de la plaquette pour des résultats optimisés. Pour les plaquettes, la machine peut détecter les défauts de polarité manquants et erronés via une inspection des défauts métalliques ainsi que manquants ou supplémentaires via une inspection des défauts inadéquats. En outre, il peut détecter les ouvertures de contact et les courts, les lignes lithographiques brisées et les filets de pont. La mesure de la couleur de rayure/impression de l'outil peut différencier les contaminants minéraux et organiques ainsi que mesurer la saleté et les contaminants ambiants. Les autres caractéristiques comprennent le champ de lumière, l'inspection IR, la fracturation des caractéristiques, le revêtement, la contrainte de surface et les mesures de couverture des contaminants. ICOS CI-T130 offre une capacité d'inspection de la propreté qui est conçue pour détecter les particules, rayures et autres impuretés qui ont échappé aux processus traditionnels de nettoyage en ligne. L'actif fournit non seulement des mesures absolues de l'empreinte de tolérance et de la largeur des lignes, mais aussi une topographie sous-micron complète des zones critiques. La classification des matériaux est également possible avec CI-T130. Les opérations lisses et fiables du modèle le rendent idéal pour l'inspection des masques et des plaquettes, garantissant des résultats optimaux quelle que soit la taille ou la complexité du travail. Son interface utilisateur intuitive le rend adapté aux techniciens novices et expérimentés, tandis que ses fonctionnalités avancées rendent l'assurance qualité plus facile et plus efficace. Avec KLA/ICOS CI-T130, KLA a créé un masque puissant et un équipement d'inspection des plaquettes qui est à la fois précis et facile à utiliser.