Occasion KLA / ICOS CI-T130 #9304378 à vendre en France

KLA/ICOS CI-T130 est un équipement d'inspection des masques et plaquettes conçu pour l'inspection des masques et plaquettes semi-conducteurs dans l'industrie de la microélectronique. Le système combine un logiciel de traitement d'image avancé avec une optique avancée, y compris une caméra de balayage de ligne de pointe et un capteur de profil optique. Cela crée une solution d'inspection puissante et automatisée qui fournit une analyse précise des défauts et des résultats rapides. KLA CI-T130 utilise une unité d'inspection du faisceau d'électrons Visiononix Falcon 5V4 pour fournir une analyse 3D complète de la surface avec métrologie descendante et de la vue latérale. Ses quatre projections et lentille fournissent 0,35 micron résolution imagerie de motifs aussi petits que 0,2 micron sans utiliser de filtres. Cela permet à la machine de détecter avec précision les défauts les plus minuscules. L'outil est également équipé d'une caméra de balayage de ligne ultra-sensible à grande vitesse. Cette caméra a une résolution de 3,5 microns pour la détection des défauts, et peut capturer des structures à la fois grandes et petites avec une excellente clarté d'image. Le capteur de profil optique mesure la profondeur d'éléments tels que des trous de contact, ou détecte des éléments en relief, en saillie ou en contre-dépouille sur la surface de la plaquette ou du masque. En plus des capacités d'inspection, ICOS CI-T130 offre des fonctionnalités de comparaison de données, d'analyse de défauts et d'analyse de rendement. Il utilise un algorithme intégré d'adaptation des motifs pour détecter et classer les défauts critiques de rendement. L'actif d'inspection fournit également une interface graphique pour la mise en place des inspections et la visualisation des résultats. CI-T130 est conçu pour une utilisation facile, avec une interface graphique conviviale et un flux de travail intuitif. Il prend également en charge plusieurs langages et des fonctionnalités graphiques avancées pour aider à la simplification détaillée. Il dispose d'un modèle de positionnement d'étage précis, et peut être étendu avec des accessoires optionnels pour le traitement humide ou des applications spéciales. En conclusion, KLA/ICOS CI-T130 est un équipement avancé d'inspection de masques et de plaquettes qui combine des algorithmes d'imagerie sophistiqués et d'appariement de motifs avec des systèmes d'imagerie optique et 3D avancés, pour une imagerie rapide et précise.