Occasion KLA / ICOS CI T620 #9384157 à vendre en France
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KLA/ICOS CI T620 est un équipement entièrement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes, conçu pour soutenir la production efficace d'IC semi-conducteurs. Le système utilise l'imagerie multi-angles multidimensionnelle des réticules à motifs, des plaquettes, du masque et des substrats connexes afin de détecter les particules de surface et les défauts. Il est équipé d'une caméra CCD monochrome haute résolution, avec une véritable optique couleur et un moniteur LCD haute résolution utilisé pour visionner des images. En outre, une unité LED de forte puissance est utilisée pour éclairer les cibles d'inspection, tandis que deux unités d'autofocus laser sont installées pour cibler avec précision les sites d'inspection. La machine KLA CI T620 utilise une gamme d'options de numérisation, afin d'obtenir les meilleurs résultats du processus d'inspection. Ceux-ci comprennent l'option standard « 1x1 », et l'option « 2x2 », qui inspecte la totalité de la zone en scannant dans les deux directions verticale et horizontale. L'outil utilise une variété de méthodes de détection afin de différencier les bons et les mauvais pixels. Il s'agit notamment des histogrammes de niveaux de gris, de la reconnaissance statistique des patrons et de la densité des défauts grâce à l'analyse locale. Un mode d'inspection de base ou avancé peut être utilisé, le mode de base fournissant un balayage rapide pour une ou deux couches de masque et de plaquette. Le mode avancé est adapté pour l'inspection multi-couches et ultra-fine appareil. L'actif fournit également une vaste gamme d'outils facultatifs d'analyse de données pour aider les ingénieurs à mieux comprendre les résultats de leur inspection. Ceux-ci comprennent une liste d'examen des défauts, qui permet aux utilisateurs de voir les défauts détectés dans un format de table. Une autre option populaire est le rapport de défaut, qui fournit une liste tabulée des défauts détectés, ainsi que d'autres paramètres tels que la taille, la forme et le type de matériau. ICOS CI-T620 peut être configuré pour détecter et classer diverses catégories de défauts, y compris la reconnaissance de motifs et le matériel étranger. Il est capable d'effectuer le criblage des défauts en utilisant plusieurs méthodes, telles que le test électrique, la technologie de microscopie électronique, et l'analyse de ventilateur électrique. Le modèle assure un échantillonnage efficace au moyen de trois modes d'échantillonnage : le mode focalisation-exposition (FE), la méthode de focalisation variable (VFM) et la méthode d'échantillonnage en deux étapes (TSM). CI-T620 est un équipement fiable, avec un temps de réponse rapide et des fonctionnalités qui peuvent être personnalisés en fonction de l'application spécifique et l'espace de garde avec la technologie avancée. Il fournit des résultats d'inspection précis et reproductibles, permettant aux ingénieurs de corriger rapidement les défauts et d'améliorer la qualité globale et la fiabilité de leurs produits manufacturés.
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