Occasion KLA / ICOS WI-1500 #9096185 à vendre en France
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Vendu
ID: 9096185
Inspection system
Power consumption:
1000W-HM only
2000W-HM + 1 WI
3000W-HM + 2 WI
Air: 3.0 to 6.0 (absolute) = 80 NI/min
Vacuum: 0.2 bar (absolute)i.e. -0.8 (relative)-90 NI/min
Connection type air: 1/4" male fitting (On machine)
Connection type vacuum: 1/8" male fitting (On machine)
Cable: Single Phase.
KLA/ICOS WI-1500 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour fournir une détection précise et fiable des défauts sur les dispositifs semi-conducteurs. Le système KLA WI-1500 est polyvalent, capable d'inspecter plusieurs types de plaquettes, condensateurs, résistances, films et divers autres types de dispositifs. L'unité ICOS WI-1500 est équipée de trois systèmes optiques réfractifs et réfléchissants, ainsi que d'un ensemble de capteurs d'imagerie en tandem et d'imagerie spectrale. Les différentes optiques offrent un large champ de vision pour offrir une couverture complète des défauts sur la plaquette. Une paire d'éclairer des sources est disponible, en incluant une source de Xe/Ne brillante de 300 watts et CoolLED la source presque infrarouge. Les capteurs d'imagerie balayent la plaquette à des résolutions allant jusqu'à 0,4 microns, y compris les modes d'inspection haute définition avec des résolutions allant jusqu'à 0,15 microns. La machine est capable de détecter une variété de défauts, y compris des contaminants, des rayures, des défauts de court-circuit et des trous de broche. En outre, WI-1500 prend en charge l'amélioration automatique du signal de défaut, lui permettant de détecter et de lire des rayures et des particules qui ne peuvent pas être vues avec l'œil humain. KLA/ICOS WI-1500 est entièrement automatisé, capable d'effectuer jusqu'à 500 scans par heure selon le type de défaut inspecté. Il fournit également un débit rapide avec un temps d'installation minimal. Un outil intégré de suivi des plaquettes suit l'emplacement et l'orientation des plaquettes, assurant la précision et la répétabilité de la mesure des défauts. L'actif est équipé d'une puissante gamme d'outils pour la détection et la classification rapides des défauts. Il dispose de capacités de tri automatisé, permettant aux opérateurs expérimentés de distinguer rapidement entre les faux positifs et les vrais défauts aveugles. De plus, un modèle de classification des défauts à plusieurs niveaux permet à l'équipement de classer rapidement les défauts en fonction de leur taille et de leur forme. KLA WI-1500 comprend également diverses fonctions d'analyse de données conçues pour fournir des informations précieuses sur les performances de l'appareil, y compris la réflectivité optique, la rugosité de la ligne métallique, la rugosité des parois latérales, la précision du recouvrement et l'alignement 5D. En plus de l'analyse des défauts, le système peut générer des rapports automatiques et des graphiques complexes pour fournir un aperçu détaillé des performances de la plaquette. Dans l'ensemble, ICOS WI-1500 fournit une solution puissante pour l'inspection des masques et des plaquettes, capable de détecter et de classer avec précision les défauts à des résolutions allant jusqu'à 0,4 micron. Il offre de puissantes capacités d'analyse de données et peut générer des rapports détaillés et des graphiques, fournissant des informations précieuses sur les performances de l'appareil.
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