Occasion KLA / TENCOR 2 XX #9009649 à vendre en France
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ID: 9009649
Spare parts:
RIA 1
Reticle inspection adapter for KLA-20X
(2)KLA-21X photomask inspection systems, 1985 vintage
Parts KLA-2XX inspection systems.
KLA/TENCOR 2 XX est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes optimisé pour la production de volume moyen à grand et est conçu pour minimiser le coût de possession tout en offrant la plus grande précision dans un large éventail d'applications. La conception innovante combine l'inspection des défauts, la classification automatisée des défauts et la capacité d'examen en un seul outil complet. Le système KLA 2 XX offre une détection des défauts très précise et à grande vitesse, jusqu'à 70 fois l'agrandissement, et s'attaque aux types de défauts, y compris la largeur de ligne, les particules/contamination, le pont et les défauts ouverts. Les algorithmes d'acquisition d'images et d'extraction de fonctionnalités spécifiques à chaque application garantissent des résultats de qualité quel que soit le matériau inspecté, tandis que le paquet d'analyse des particules/contamination de M-Vision distingue les particules de l'arrière-plan par morphologie. L'unité TENCOR 2XX dispose d'une analyse de contour automatisée et d'une stratégie de suppression aberrante pour la véritable caractérisation des défauts pour le traitement de la largeur de ligne et des défauts de pont, ce qui en fait un outil idéal pour la génération de données de référence sur les défauts. De plus, le processus automatisé d'examen des défauts, avec un plan 10x et 84x zoom PEM et identification automatisée des défauts, classe avec précision les défauts pour un meilleur suivi et une amélioration du rendement. Le débit et la précision élevés de la machine sont supportés par une interface logicielle intégrée conviviale capable d'analyser jusqu'à 500 plaquettes par heure. De plus, des logiciels supplémentaires fournissent d'autres capacités telles que l'analyse des contraintes et des distorsions, la reconnaissance topographique et la mesure du niveau de défaut. Les traits d'intégrité et de redondance intégrés garantissent 2XX l'outil court doucement et que la performance à long terme est maintenue, pendant que l'architecture d'actif basée sur le réseau s'assure que toutes les données peuvent être partagées parmi les installations de production globales. Le modèle est livré avec un réseau de support global et une variété d'options, de mises à niveau et d'accessoires sont disponibles en fonction de l'application de l'utilisateur.
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