Occasion KLA / TENCOR 201 #293635802 à vendre en France

ID: 293635802
Style Vintage: 1985
Mask inspection system 1985 vintage.
KLA/TENCOR 201 est un équipement d'inspection automatisé pour la fabrication de masques et Wafer. Il est utilisé pour s'assurer que les masques utilisés en lithographie et autres procédés sont exempts de défauts. Le système se compose de deux parties : la station d'inspection des masques (SIM) et la station d'inspection des wafers (SIG). Le MIS est conçu pour inspecter jusqu'à 4-8 des champs optiques plats et haute résolution d'un masque à deux faces ou à deux couches. Le MIS est utilisé pour détecter les défauts du motif photomasque avec une très grande sensibilité, permettant une couverture complète des défauts. Il est capable d'analyser différents types de défauts induits par le processus et offre des mesures précises de coordonnées de défauts. La machine reconnaît automatiquement différentes tailles de matrice et accepte la variété des masques. Le WIS inspecte jusqu'à 8 champs optiques plats et haute résolution d'une plaque de 4 ou 6 pouces. Il fournit une détection précise des défauts sans manquer de défauts. Cette machine offre une couverture des défauts intérieurs et périmétriques avec une détermination passe/échec et une carte détaillée des défauts. Le WIS permet également la reconnaissance de signature optique, un outil efficace pour détecter les résidus de processus, les défauts structurels et d'autres problèmes de production. KLA 201 est capable de fonctionner dans des environnements de classe 100 salle blanche et est livré avec un logiciel convivial qui permet un accès à distance depuis n'importe quel PC. L'unité offre un contrôle complet sur l'ensemble du processus et du cycle de surveillance et prend en charge plusieurs langues. Dans l'ensemble, TENCOR 201 est une machine fiable et efficace d'inspection des masques et plaquettes. Il est conçu pour détecter différents types de défauts et offre une fiabilité supérieure avec une mesure précise des défauts. Cet outil convient à la fabrication de semi-conducteurs, à la fabrication de masques et de plaquettes et à d'autres industries connexes.
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