Occasion KLA / TENCOR 2131 #293815220 à vendre en France
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KLA/TENCOR 2131 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes, conçu pour les besoins de production et de débit les plus exigeants. Le système complet KLA 2131 Advanced Defect Inspection System offre aux principaux fabricants de semi-conducteurs de l'industrie une combinaison puissante de caractéristiques, y compris la détection en profondeur des plaquettes et des réticules. TENCOR 2131 a été conçu pour répondre aux exigences exigeantes de production, de qualité et de contrôle des processus au sein d'une plate-forme unitaire unique. La machine 2131 intègre une architecture optique multi-canaux, une étape de balayage haute résolution et une acquisition rapide d'images. Cette combinaison crée un outil d'inspection à haut débit qui a la capacité d'inspecter par défaut 300mm, 200mm, et de plus petites tailles de matrice supportant des résolutions optiques de 0,7 microns à 5 microns, couvrant la plus large gamme de géométries de dispositifs. L'actif est logé dans un design entièrement automatisé, silencieux et facile à utiliser, conçu pour optimiser le processus et réduire le temps de cycle. KLA/TENCOR 2131 offre des capacités de détection de défauts avancées intégrées, permettant aux clients de comparer les résultats réels aux performances attendues. Le logiciel de détection des défauts avertira les utilisateurs de toute anomalie dans un processus, comme les défauts de dimension critique et d'autres problèmes mineurs de performance. Le modèle fournit également une interface utilisateur graphique personnalisable qui est facile à utiliser et facile à comprendre. KLA 2131 propose une inspection des couches optiques avec 4 ou 8 modèles de couches optimisés pour certaines technologies. Il permet aux utilisateurs d'inspecter des couches spécifiques ou une combinaison de couches (pour optimiser la précision de l'inspection). Il présente également une large gamme dynamique qui permet aux utilisateurs de compenser les différences d'épaisseur de matériau ou de motifs de couche. TENCOR 2131 est capable d'effectuer des mesures et des comparaisons sur plusieurs sites avec une grande précision et répétabilité. L'équipement comprend également des fonctions d'examen des défauts basées sur la carte, comme les scanners de défauts et les visualisateurs de cartes, qui aident les utilisateurs à visualiser les résultats du processus et à prendre des décisions rapides. En outre, il fournit des capacités d'inspection non optique au niveau des plaquettes telles que la dimension critique 3D, l'examen micrographique et la Stitch Probing automatisée. 2131 fournit des capacités avancées d'acquisition et d'analyse de données, telles que la génération de rapports, les histogrammes et l'analyse des tendances, pour soutenir le processus et le contrôle des rendements. Les données du système peuvent être stockées dans des fichiers formatés en RCP pour être utilisées dans des outils d'analyse de données. En résumé, KLA/TENCOR 2131 est un masque avancé et une unité d'inspection des plaquettes conçue pour les exigences de production et de débit les plus exigeantes. Il dispose d'une interface utilisateur graphique facile à utiliser, d'un logiciel puissant de détection des défauts, de capacités d'examen des défauts basées sur la carte, et de robustes capacités d'acquisition et d'analyse de données. Cette machine assure l'inspection précise des défauts et le contrôle des processus sur une variété de structures semi-conductrices de différentes tailles et formes.
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