Occasion KLA / TENCOR 2131 #9404524 à vendre en France

KLA/TENCOR 2131 est un équipement automatisé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il peut être utilisé à la fois pour des applications de métrologie optique et de métrologie sous forme de matrice. Le système utilise deux postes de travail, l'un pour l'alignement et l'autre pour l'inspection finale. Le poste de travail d'alignement abrite deux modules d'alignement, un module d'auto-alignement et un module d'alignement automatisé. Le module d'auto-alignement utilise des techniques avancées d'analyse d'image pour auto-aligner la plaquette sur le motif requis. Le module d'alignement automatisé utilise des masques programmés pour identifier et aligner la plaquette. Le poste d'inspection final est équipé de capteurs multiples qui mesurent à la fois les défauts de motif et de défaut. Ces capteurs comprennent un réseau de microscopes optiques, des rayons X, un microscope électronique et un capteur CMOS. L'unité comporte également un seul module de classification des défauts, capable de mesurer simultanément plusieurs défauts. La machine a une vitesse d'inspection élevée, avec jusqu'à 10 000 plaquettes par heure, ce qui la rend adaptée à un environnement de production à haut volume. En outre, il peut détecter avec précision des rendements de 80 % et plus, ce qui lui permet d'être utilisé dans un large éventail de conditions de processus. L'outil est également capable d'analyser les mesures et de donner automatiquement des résultats de passes ou d'échecs, ce qui permet un remaniement plus rapide des processus. En outre, il dispose d'une interface graphique intuitive et conviviale, permettant une configuration et un fonctionnement faciles. KLA 2131 est un outil essentiel pour l'inspection des masques et plaquettes de haute précision. Sa grande vitesse, sa grande précision et son interface utilisateur intuitive le rendent adapté à un large éventail d'applications. Qu'il s'agisse de petites séries ou de production à grande échelle, TENCOR 2131 peut aider à optimiser les résultats d'inspection et à améliorer le rendement.