Occasion KLA / TENCOR 2132 #139716 à vendre en France
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ID: 139716
Wafer defect inspection system
Includes:
KLA / TENCOR 2132 wafer inspection unit (primary)
KLA / TENCOR 2132 wafer inspection unit (secondary)
KLA / TENCOR 2552 data analysis station
KLA / TENCOR 2132 power line conditioner
Specifications:
KLA / TENCOR 2132 wafer inspection unit (primary):
Label model: KLA-2131, front panel reads "2132"
Chuck installed: 8"
Power cable intact, all other cables cut
Front upper panel cover shocks / struts are worn
Missing: PC, 1-2 body panels
Power rating: 120VAC, 25A, 50/60Hz
1994 vintage
KLA / TENCOR 2132 wafer inspection unit (secondary):
Label model: KLA-2131, front panel reads "2132"
Body panel does not fully mount
Power rating: 120VAC, 3-phase, 25A, 50/60Hz
1994 vintage
Components:
KLA PC/IF 486/66 PC system, p/n 750-660859-00
Dual monitors
Keyboard
Trackball
Modules installed:
KLA PC/IF 486/66 PC system, p/n 750-660859-00
KLA Memory Controller Phase 3, p/n 710-658232-20
FAB, p/n 710-658085-00
(2) Mass Memory 2 Phase, p/n 710-658051-20
(2) KLA CornerTurn 3, p/n 710-655651-20
(2) Y-Interpolator, p/n 710-658172-20
(2) X-Interpolator, p/n 710-658177-20
UNIQUENESS Processor, p/n 073-658045-00
Alignment Processor Phase 3, p/n 710-658041-20
Alignment Processor (AP1), p/n 710-65803620
Defect Filter (H.R.), p/n 710-659724-00
Defect Processor Phase 3, p/n 710-658075-20
KLA DP, p/n 710-650099-20
KLA DD, p/n 710-650044-20
KLA DF FAB PH3073, p/n 073-65836-00
IB Module
RIF Module
KLA / TENCOR 2552 data analysis station:
Label model: KLA-2551X, front panel reads "2552"
Power rating: 120VAC, 20A, 50/60Hz
1994 vintage
Components:
INTEL XBASE8TE8F-C PC computer tower
APC BackUPS
Dual monitors
Keyboard
Trackball
KLA / TENCOR 2132-LC power line conditioner:
P/N: 750-653120
Power rating: 9kVA, 416V, 21A, 3-phase, 50/60Hz
Input: 3-phase, 50/60Hz
Output: 3-phase, 208V/120V
1996 vintage
System currently de-installed.
KLA/TENCOR 2132 est un masque automatisé complet et un équipement d'inspection de plaquettes. Il dispose de capteurs de haute performance et de technologie d'imagerie avancée pour des inspections précises et de haute précision. Le système utilise des lignes vives, des défectuosités vives et des capteurs d'imagerie de défauts sombres avec des régions d'intérêt, un tri et une classification améliorés des défectuosités, et un contrôle automatisé des défectuosités à grande vitesse et la disposition des défectuosités. L'unité fournit une identification de défaut inégalée et une disposition précise des défauts jusqu'à 60 plaquettes par heure. C'est une machine non-contact, non-destructive, qui assure l'intégrité de la plaquette au substrat tout au long du processus d'inspection. Grâce à sa technologie de capteurs sophistiquée, l'outil est capable d'analyser une variété de substrats, dont le silicium, la résine photosensible, le verre et la céramique, d'une taille allant jusqu'à 300mm. La technologie avancée d'imagerie de l'actif intègre une variété de modes d'imagerie, permettant l'inspection de n'importe quelle qualité de plaquette de semi-conducteur. Les images haute résolution de la surface de la plaquette sont capturées à travers une variété de lentilles et de presets optiques, permettant une vue d'ensemble complète de la plaquette rapidement et facilement. Trois types de modes d'imagerie sont disponibles pour des inspections spécifiques à la tâche : images à fort grossissement, images planaires, images 3D. Le modèle offre également des capacités améliorées de tri et de classification des défauts. En combinant la ligne vive, le défaut lumineux et les images de défaut sombre avec la lumière sous différents angles, l'équipement peut caractériser les défauts avec un haut degré de précision. Les défauts sont classés automatiquement en temps réel et classés en groupes en fonction de la gravité de leur nature. Avec le module avancé d'analyse des défauts 3D, une carte 3D détaillée des défauts de surface des plaquettes peut être créée. KLA 2132 est un outil précieux pour détecter et éliminer les défauts avec une précision et une précision accrues. Avec ses caractéristiques robustes, il contribue à augmenter le rendement et à réduire la ferraille des plaquettes pour une variété de besoins d'inspection des plaquettes.
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