Occasion KLA / TENCOR 2132 #192495 à vendre en France

KLA / TENCOR 2132
ID: 192495
Brightfield defect wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2132 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il fournit une inspection générale des défauts, remet en question l'inspection automatisée (IAC) des types de défauts complexes, ainsi que des capacités d'examen pour la confirmation finale des défauts. KLA 2132 offre un système d'inspection optique avec une capacité d'inspection de 150 mm (6 pouces) et un passage rapide entre plusieurs tailles de plaquettes. Il est capable de délivrer 100 μ m champ de vue (FOV) à une résolution d'environ 0,2 μ m, ce qui signifie qu'il peut détecter même les défauts d'échelle nanométrique avec précision et précision. L'unité dispose également d'algorithmes avancés de détection de défauts qui peuvent identifier efficacement à la fois les types de défaut de particules et de défaut optique, comme le pont, les rayures, les fissures, les particules, les trous d'épingle, entre autres. La machine utilise une architecture de numérisation optique exclusive pour acquérir et traiter des images rapidement et avec précision. Ceci fournit une profondeur de champ plus que suffisante pour inspecter un large éventail de types de défauts. Les images sont ensuite comparées à des images de référence pour vérifier les variations liées aux défauts. De plus, TENCOR 2132 comprend des fonctions d'inspection des défauts telles que la classification des défauts, la détection automatique des défauts, l'analyse des défauts, l'examen des défauts et la disposition des défauts. L'outil comprend un logiciel de contrôle convivial qui fournit à l'utilisateur des résultats clairs et détaillés de ses inspections. Il dispose également d'outils personnalisés « best-in-class » pour améliorer la visualisation et l'analyse des images. L'interface permet à l'opérateur de spécifier facilement les paramètres, de visualiser les résultats et d'affiner rapidement l'analyse. 2132 est un outil extrêmement polyvalent et fiable pour inspecter les surfaces pour détecter les défauts potentiels. Ses algorithmes avancés et son atout en optique lui permettent de détecter les défauts à l'échelle nanométrique avec précision et précision tout en fournissant à l'utilisateur des résultats clairs et faciles à comprendre. Le modèle est une solution idéale pour tout fabricant nécessitant une inspection de haut niveau et une analyse des défauts.
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