Occasion KLA / TENCOR 2132 #293586850 à vendre en France

KLA/TENCOR 2132 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour une capacité de détection maximale, une couverture de grande surface et un débit accru. Le système utilise des technologies de détection optique avancées (Coherent Back Scatter et UV) pour l'imagerie simultanée de différentes couches superficielles du masque et de la plaquette. Il comprend également des instruments ronds, des modules de transport de plaquettes et des autosampleurs de mesure à résolution multiple. Le Scatter arrière cohérent (CBS) est adapté à une inspection rapide et précise des motifs des masques et des plaquettes et est utilisé comme outil de vérification pour des temps d'inspection aussi courts que 5 secondes/feuille. L'unité UV comprend une lampe UV et une source de lumière UV, offrant une grande sensibilité à tout type de défauts, même en dessous de la marge diffractive. Les instruments ronds comprennent plusieurs accéléromètres microfocaux à 4 axes qui mesurent la circularité de la plaquette avec une résolution nanométrique à des vitesses élevées. Le module de transport de la plaquette transfère la plaquette de la zone d'inspection vers l'amplificateur automatique. L'autosampleur est conçu pour permettre l'inspection précise de très petites structures réparties aléatoirement sur la surface de la plaquette, permettant l'alignement et la mesure de structures de taille inférieure à 150nm. KLA 2132 est une machine d'inspection de masques et de plaquettes économique et fiable, adaptée à la caractérisation automatisée des motifs et défauts gravés de plaquettes. L'outil est compatible avec l'inspection die-by-die et l'analyse morphologique multiple, et sa caméra haut de gamme fournit l'imagerie en temps réel de formes et de motifs complexes. L'appareil est équipé d'algorithmes avancés de correspondance de motifs, ainsi que de capacités complètes de couverture de défaut et d'analyse de test basée sur des fonctionnalités. Dans l'ensemble, TENCOR 2132 est un atout polyvalent, sophistiqué et convivial composé de technologies de pointe et d'applications logicielles spécialisées. Ses puissants algorithmes de filtrage et de mesure de tolérance sont capables de détecter de minuscules défauts lors de tout processus de production, confirmant la qualité précise et la fonctionnalité de la plaquette ou du masque.