Occasion KLA / TENCOR 2132 #293824937 à vendre en France

KLA/TENCOR 2132 est un équipement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour fournir une détection précoce des défauts limitant les rendements pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Le système utilise un microscope optique unique induit par laser (LIM) pour inspecter la face avant d'une matrice ou d'un réticule de haut en bas, couche par couche. Le LIM fournit la plus haute résolution disponible, permettant la détection de défauts ou de formes de sous-microns sur la couche de masque finale ou couche de plaquette de cette matrice ou réticule. Il inspecte simultanément les défauts liés à la lithographie, les défauts des pores, les ponts de ligne et d'autres défauts critiques. L'unité est équipée d'une caméra intégrée qui détermine automatiquement la couche à inspecter, en fonction du nombre de couches et du type de défauts détectés. Il peut détecter des défauts aussi petits que 0.1um sur CD et Pitch, et il peut même détecter des défauts de ligne de cheveux CD. La machine est conçue pour inspecter jusqu'à quatre plaquettes à la fois, assurant des temps d'exécution rapides et un coût relativement faible par plaquette. Outre le LIM, KLA 2132 intègre également d'autres technologies telles que le scanner CMM KLA, qui est utilisé pour mesurer avec précision les dimensions des plaquettes et des réticules. Cela permet de s'assurer qu'aucune erreur n'a été commise pendant le processus de fabrication du masque ou de la plaquette. L'outil est également équipé d'un outil Auto-Recipe Generation, qui aide à automatiser le processus d'inspection en créant des recettes personnalisées pour chaque plaquette, selon l'application et la technologie. L'actif comprend également des outils logiciels avancés tels que le contrôle statistique des processus et la classification avancée des défauts. Cela permet aux utilisateurs d'examiner rapidement les niveaux de défauts et leur corrélation avec les variables de processus pour améliorer efficacement le contrôle et le rendement du processus global. De plus, le modèle comprend des capacités de rapport et d'analyse en temps réel, permettant des ajustements rapides ou l'optimisation des variables de processus pendant l'inspection. Finalement, l'équipement TENCOR 2132 est certifié pour l'opération YieldRCA-3, qui permet aux utilisateurs à vite et diagnostiquez exactement tous défauts trouvés pendant l'inspection. Cela fait du système un outil puissant pour tout processus de fabrication de semi-conducteurs - notamment pour identifier la cause première des défauts limitant le rendement.