Occasion KLA / TENCOR 2132 #9101228 à vendre en France

KLA / TENCOR 2132
ID: 9101228
Style Vintage: 1995
Wafer inspection system Array Mode: 0.62μm: 5 sec/cm2 0.39μm: 15 sec/cm2 0.25μm: 30 sec/cm2 Random Mode: 0.50μm: 1.5 sec/cm2 0.30μm 5 sec/cm2 0.20μm 15 sec/cm2 Minimum inspection feature size @ 0.25μm with DIE to DIE mode ±0.5℃ Defect Capture Rate: >90% on KLA Standard Wafer with >0.1% false rate in Random Mode ±0.2℃ 1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour fournir une solution complète pour la production de semi-conducteurs. Le système offre une détection et une analyse précises et fiables des défauts. L'unité dispose d'une variété de capacités d'automatisation et d'analyse haut de gamme. Il utilise l'imagerie tri-niveau à champ lumineux, champ sombre, RED-amélioration pour analyser et détecter avec précision les défauts, et dispose d'algorithmes avancés et de méthodes statistiques pour analyser avec précision et précision les tendances des défauts. La machine peut analyser les niveaux de défauts die-to-die, die-to-mask et chip-to-chip, et peut mesurer les caractéristiques complexes de CD et de superposition. En plus de l'inspection et de l'analyse des défauts, l'outil peut être configuré pour effectuer une métrologie avancée. Il offre une gamme de paramètres pour l'évaluation et la surveillance tels que les dimensions critiques (CD), les largeurs de ligne et les épaisseurs de film. Il s'agit d'un moyen plus complet de s'assurer qu'une production donnée est conforme aux spécifications nécessaires. L'actif est très fiable et stable, et la durabilité a été conçue dans sa conception. Le modèle dispose d'un cadre d'alignement des plaquettes pour le balayage des faisceaux. Il contient également des capacités polyvalentes d'identification de la géométrie des plaquettes à la volée, un équipement de mise au point avancé et un étage motorisé de haute précision. Le système offre une interface utilisateur facile à utiliser pour une faible courbe d'apprentissage et une répétabilité et une précision inégalées. Il peut également faciliter les recettes spécialisées de détection de défauts pour un niveau extrêmement élevé de personnalisation aux exigences spécifiques de l'application. Les capacités d'inspection des masques et plaquettes de l'unité répondent aux exigences les plus strictes en matière d'assurance qualité dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour améliorer considérablement le débit, le rendement et la fiabilité.
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