Occasion KLA / TENCOR 2132 #9161994 à vendre en France

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KLA / TENCOR 2132
Vendu
ID: 9161994
Style Vintage: 1992
Wafer inspection system 1992 vintage.
KLA/TENCOR 2132 est un équipement avancé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour une grande sensibilité et précision. Le système utilise la technologie brevetée Fourier Transform Interferometry (FTI) pour la détection et la classification des défauts, et comprend une unité intégrée d'examen des défauts, d'isolement des défauts et de reconnaissance des motifs. L'unité dispose d'une interface utilisateur graphique conviviale, ainsi que de capacités d'imagerie et d'analyse avancées. La machine d'inspection des masques et des plaquettes comprend trois composantes principales : le scanner, l'outil d'imagerie et les systèmes de traitement d'image. Le scanner est un outil d'imagerie haute résolution basé sur FTI capable de capturer des images de wafers à la fois descendantes et transversales. Cela garantit que les défauts sont détectés, identifiés et résolus avec précision. Le modèle d'imagerie comprend une technique avancée de microscopie optique, qui est capable de faire ressortir le détail fin de la surface de la plaquette. L'équipement comprend également un module de simulation qui permet aux utilisateurs de cartographier avec précision une surface plane et de prévoir l'impact des défauts. Les systèmes de traitement d'image sont conçus pour détecter et classer les défauts selon la catégorie et la taille. Il les sépare également en différentes classes de défauts. Il classe les formes, les tailles et les intensités des défauts, et peut également reconnaître et différencier les caractéristiques couramment vues comme les points, les lignes, les courbes, les creux et les îlots. Le système peut facilement détecter des anomalies à l'intérieur de la plaquette et aide à déterminer lesquelles doivent être inspectées ou réparées. La résolution du panneau de défaut est de 0,5 µm, avec la capacité de détecter au niveau du pixel. L'unité peut également classer les défauts en fonction de la taille, de la forme, de la topologie, de l'orientation et du mouvement relatif. La carte des portes permet aux utilisateurs de visualiser les seuils, le filtrage et l'identification des défauts critiques à leur emplacement d'échantillonnage. La machine comprend également une fonction de révision automatisée des défauts. Cela permet une comparaison automatisée entre les résultats escomptés et les résultats réels, de sorte que tout écart peut être rapidement identifié. Un outil micro-niveau d'isolation des défauts est également inclus, ce qui aide à réduire le potentiel de défauts manqués ou de faux positifs. Enfin, l'unité offre un puissant atout de reconnaissance de modèle. Cela fournit aux utilisateurs une vue complète des plaquettes, ainsi que la capacité de détecter et de classer plus d'un motif de défaut à la fois. Par exemple, il peut différencier différents types de défauts structurés tels que des shorts et des ouvertures. Le modèle KLA 2132 d'inspection des masques et des plaquettes est conçu pour fournir aux utilisateurs un équipement puissant pour inspecter, analyser et réparer les défauts des masques et des plaquettes. Sa capacité avancée d'imagerie et de traitement d'images permet une méthode très sensible et précise de détection et de classification des défauts. Les systèmes automatisés de révision et de reconnaissance des défauts aident à réduire les défauts potentiels manqués et les faux positifs, ce qui en fait un système idéal pour garantir la meilleure qualité des produits.
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