Occasion KLA / TENCOR 2132 #9383459 à vendre en France

KLA/TENCOR 2132 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes qui aide les fabricants à assurer la qualité de leurs dispositifs semi-conducteurs. Il est utilisé pour détecter et caractériser les défauts des photomasques, des dessins techniques et d'autres couches métalliques et diélectriques nouvellement fabriquées. Le système KLA 2132 se compose de deux composantes principales : l'unité d'inspection Wafer (WIS) et la machine d'inspection masque (MIS). Le composant WIS effectue une inspection optique des plaquettes non emballées et recueille les données essentielles de processus et de défauts pour les essais électriques et l'analyse de la matrice. Il vérifie également les paramètres de la plaquette, y compris l'uniformité, le placement géométrique et les dimensions critiques de la plaquette. La composante SIM permet d'inspecter de façon sous-cutanée une ébauche de photomasque conçue pour détecter des défauts critiques tels que le pelage ou la contamination et de les comparer à la configuration de conception prévue. L'outil TENCOR 2132 utilise diverses technologies de pointe, dont l'imagerie numérique haute résolution, l'éclairage hors axe, le déphasage automatique et les composants optiques spécialisés pour améliorer l'acquisition d'images. Sa capacité d'imagerie permet des mesures géométriques et la caractérisation des défauts jusqu'à l'échelle du nanomètre, ce qui est utile pour identifier les problèmes au début du processus de fabrication. L'actif comprend également plusieurs fonctions intégrées d'assurance de la qualité telles qu'un processus automatique de sélection et d'évaluation des cibles. Cela permet de réduire le temps d'inspection et de s'assurer que les défauts les plus critiques sont identifiés avant la production de masse. Le modèle prend en charge une méthode transparente de classification des défauts et est conçu pour faciliter l'intégration avec les systèmes de base de données. Cela le rend adapté à l'intégration avec d'autres solutions de métrologie, facilitant le suivi et la caractérisation automatisés des défauts. De plus, l'équipement permet un stockage rapide des données, permettant aux fabricants de suivre et de comparer les changements dans le temps. Dans l'ensemble, 2132 est un système automatisé et de haute précision d'inspection des plaquettes et des masques qui aide les fabricants à produire des dispositifs de qualité. Il offre aux utilisateurs une plate-forme fiable et efficace pour l'intégration des unités, la détection des défauts et l'analyse de fabrication.