Occasion KLA / TENCOR 2135-IS #293620770 à vendre en France
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Vendu
ID: 293620770
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Brightfield wafer defect inspection system, 8"
Process: Metrology
Process module
Control rack
Dual load
Y-axis controller nonfunctional
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2135-IS est un équipement d'inspection haute performance, à haut rendement, masque et wafer avec des fonctionnalités d'imagerie, d'analyse et de reporting avancées. Ce système offre un champ de vision de taille variable et fournit une résolution d'image exceptionnelle dans l'imagerie de champ lumineux et de champ noir. L'unité KLA 2135-IS peut détecter les plus petits défauts sur des masques ou des plaquettes compliqués à l'aide de sa machine d'éclairage, d'une imagerie haute gamme dynamique améliorée, de la reconnaissance de motifs laser et de techniques d'imagerie multi-vues uniques. Les techniques d'imagerie avancées utilisées par cet outil permettent une analyse d'image de haute qualité centrée sur les défauts. L'actif dispose de plusieurs détecteurs, dont un détecteur de réseau CCD de 1,3 mégapixel, 8 bits et un détecteur de réseau CCD de 50 mégapixels et 12 bits. Le détecteur CCD 1.3 Megapixel a des niveaux de sensibilité profonds pour l'imagerie haute résolution qui convient à l'inspection des géométries critiques, tandis que le tableau CCD 50 Megapixel est utilisé pour les grandes plaquettes avec des motifs plus complexes. En raison de leur grande taille de détecteur et de leurs capacités d'imagerie, ces détecteurs permettent de détecter et d'analyser les plus petits défauts, même sur des plaquettes de grande taille. L'une des principales caractéristiques de TENCOR 2135-IS est sa reconnaissance multipoint UV et laser infrarouge. Cette caractéristique permet une cartographie précise des caractéristiques de superposition définies par laser et des couches de processus sur la plaquette et permet une comparaison en temps réel des images de la plaquette avec des images de référence prédéterminées et ainsi une détection efficace des défauts. Le modèle dispose également d'un équipement de capture rapide des défauts qui permet une caractérisation rapide, automatisée et la classification des images de masque ou de plaquette. L'utilisateur peut facilement accéder, supprimer, stocker et catégoriser les défauts dans le système. En plus de ses capacités de détection de défauts, cette unité dispose également d'une série d'outils puissants d'analyse de données et de rapports qui permettent à l'utilisateur de générer des rapports détaillés avec divers indicateurs statistiques tels que la taille, le type, l'emplacement et la gravité des défauts. Dans l'ensemble, 2135-IS machine offre une solution complète d'inspection de masque et de plaquettes qui est conçue pour fournir des résultats de haute performance et de rendement élevé. L'outil aide les fabricants et les fabricants à assurer la cohérence des produits de haute qualité et répond aux exigences exigeantes de la fabrication en volume.
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