Occasion KLA / TENCOR 2135 #192496 à vendre en France
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Vendu
ID: 192496
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2000
Patterned wafer defect inspection system, 6"
Handler: 6" open cassette (x2)
Cassette handling: vacuum handling open handler
Robot: KLA robot, single end-effector
Inspection station module: KLA2135-IS
User interface module: KLA2135-UI
Chuck type: low contact (dimpled)
Light spectrum: visible 2.9
Pixel size in um: 0.62, 0.39, 0.25
CE Marked
PC configurations:
CPU: PII 300 MHz
Memory: 512M
OS: Windows NT
3.5” floppy drive
Application software: version 5.3.084
GEM/SESC (HSMS)
Network comm.: BNC, Ethernet (Cat 5)
Fan (blower) Unit
Remote power disconnect panel
Facilities:
Line conditioner: 208 V, 50 A, 3 phase, 50/60 Hz
Inspection station: CDA 80 PSI measured at the main system regulator
Performance requirement:
DSW75 capture rate > 90%.
DSW75 repeatability > 95%
User Manual
2000 vintage.
KLA/TENCOR 2135 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes qui fournit une détection de défauts de haute précision, utilisant des techniques algorithmiques avancées pour détecter et mesurer la contamination au niveau des particules sur n'importe quel substrat. Ce système offre une excellente qualité d'image, un débit rapide et une optimisation améliorée des processus. KLA 2135 fournit d'excellentes images dynamiques et utilise diverses techniques de balayage à haute résolution, telles que le balayage laser, le balayage par faisceau d'électrons et l'analyse paramétrique. L'unité TENCOR 2135 offre une grande variété de caractéristiques performantes qui permettent une inspection précise et fiable des composants électroniques. La machine est capable de détecter des défauts de sous-nanomètre avec des images de haute qualité. Cela le rend idéal pour détecter et mesurer un large éventail de défauts liés au processus tels que la contamination des particules, les vides, les rayures et autres contaminants optiques. L'outil offre également des technologies de scanner de pointe et des algorithmes avancés d'analyse d'images qui permettent un rendement élevé, un examen précis et une analyse de déphasage. Les capacités avancées de classification des défauts de l'actif permettent à l'utilisateur d'identifier et de classer les défauts de surface, tandis que sa technique d'imagerie multi-spectrale garantit qu'une grande variété de types de masques peuvent être inspectés avec des résultats précis. Le modèle offre également une fonction d'optimisation automatisée des processus qui permet aux utilisateurs d'analyser et d'optimiser rapidement un processus basé sur les résultats obtenus à partir de tout processus d'imagerie. L'équipement 2135 dispose également d'une capacité d'inspection à haut débit, permettant un balayage rapide et efficace sans intervention manuelle. Il dispose également d'un système intégré de suivi et de documentation des défauts qui permet aux utilisateurs de suivre et d'examiner les défauts de plusieurs images. Pour assurer une détection et une comparaison précises et fiables des défauts, l'unité KLA/TENCOR 2135 utilise des techniques algorithmiques avancées pour la détection et la caractérisation des défauts. Ces algorithmes sont conçus pour maximiser l'efficacité et la précision du processus d'identification et de qualification des défauts, garantissant une excellente qualité d'image et une meilleure optimisation des processus. Globalement, la machine KLA 2135 est une solution avancée et rentable pour la détection et la caractérisation des défauts dans l'environnement de fabrication. Il offre une détection de défauts de haute précision avec une excellente qualité d'image et un débit rapide, ainsi qu'une optimisation automatisée des processus et un suivi efficace des défauts. En combinant qualité et performance, l'outil TENCOR 2135 est un choix idéal pour tout fabricant à la recherche d'un masque et d'un outil d'inspection des plaquettes évolués, efficaces et fiables.
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