Occasion KLA / TENCOR 2135 #293610038 à vendre en France
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KLA/TENCOR 2135 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il s'agit d'un outil spécialement conçu pour inspecter un substrat avant, pendant et après le processus de production proprement dit. Le système utilise des caméras à couplage de charge (CCD) pour détecter d'éventuelles anomalies ou défauts à la surface du masque et/ou des plaquettes. Il fournit un ensemble complet d'outils et d'algorithmes pour détecter, quantifier, mesurer et classer automatiquement chaque défaut. KLA 2135 utilise l'imagerie ultraviolette (UV) de pointe pour la détection des défauts sans contact. Il est équipé d'un réglage précis des pixels et peut être utilisé pour des tâches statiques et dynamiques. La machine s'intègre à d'autres logiciels et est capable d'interfacer avec des systèmes automatisés de sonde et de métrologie. Il peut également être utilisé pour étalonner et mesurer l'équipement dans le processus de lithographie. L'unité se compose d'un moteur à haute vitesse, de plusieurs caméras CCD et d'un environnement logiciel flexible pour l'optimisation des paramètres de défaut. Le moteur peut détecter et analyser toute taille de défaut dans une zone d'intérêt 3D. Les caméras CCD peuvent identifier des centaines de défauts en une fraction de seconde et fournir une cartographie 3D précise de chaque défaut. Le logiciel peut être utilisé pour personnaliser les paramètres utilisés dans le moteur d'adaptation des motifs, ainsi que les seuils utilisés dans la classification des défauts. Les données collectées peuvent être stockées par le logiciel dans une base de données, permettant une recherche rapide et facile de l'information. Les données peuvent également être utilisées pour générer des rapports et préparer des analyses, qui peuvent être imprimées ou envoyées électroniquement à d'autres personnels chargés de la manipulation et de l'optimisation du processus. La machine peut être intégrée aux systèmes de métrologie et d'essai existants, ce qui améliore considérablement les délais de traitement, réduit les coûts et rationalise les processus. Dans l'ensemble, TENCOR 2135 est un outil fiable et performant d'inspection des masques et plaquettes conçu pour assurer la précision de la production et le contrôle de la qualité des dispositifs semi-conducteurs. C'est un atout qui permet d'assurer la précision des pièces fabriquées à l'échelle nanométrique. Il s'agit d'une solution rentable et efficace pour l'inspection d'une variété de défauts, pendant et après le processus de production.
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