Occasion KLA / TENCOR 2135 #9254151 à vendre en France
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Vendu
ID: 9254151
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Wafer inspection system, 8", parts machine
Missing parts:
TDI Module
PLLAD Module
1996 vintage.
KLA/TENCOR 2135 est un équipement polyvalent et perfectionné d'inspection automatisée des masques et plaquettes capable d'inspecter des plaquettes d'un diamètre allant jusqu'à 8 pouces du pare-chocs au pare-chocs, avec une résolution remarquable de 0,5 microns (500 nm). Ceci est rendu possible par son profileur de faisceau avancé et son champ de vision extérieur de Φ5 mm qui capturent le processus d'imagerie topologique le plus précis et le plus complet des structures critiques sur une face de la matrice. Le système est équipé de codage d'image pour améliorer la métrologie et la précision du flux de travail. En plus de la stéréo-imagerie, KLA 2135 utilise la technologie d'imagerie par couches d'aérosols (ALI), une approche novatrice qui active des détections distinctes de petites particules et de défauts à haute résolution, comme la poussière et la contamination. Il offre également une unité d'éclairage de classe d'uniformité d'illumination intégrée avec jusqu'à 6 caractéristiques différentes - de la basse lumière à la haute lumière - atteignant la meilleure qualité d'image sans aucun effet d'ombre ou de torche. TENCOR 2135 réduit également plusieurs types d'erreurs systématiques avec sa technologie innovante TFIA (Total Feature Image Analysis), qui permet un processus de caractérisation multipoint des caractéristiques afin d'identifier des tailles et des formes variées. En outre, la machine est équipée d'une carte des matériaux de couleur pour une surveillance visuelle améliorée ainsi que d'installations d'entrée/sortie pour le transfert de données. Il est livré avec un logiciel propriétaire, 7PiiQ, qui contient une suite complète de fonctionnalités de l'inspection à l'optimisation. Visualiser-il fournit un ensemble unique d'analyses avancées pour les opérateurs pour identifier et dépanner tout problème. Predict-it fonctionne comme un contrôleur automatique de règles de conception électrique, de contrainte et optique (DRC) lié aux caractéristiques de vision de la matrice pour détecter immédiatement les erreurs aux bords d'attaque. Le logiciel permet également aux utilisateurs de suivre et d'analyser les violations des règles de conception et de définir des paramètres d'acceptation/rejet personnalisables. L'outil d'inspection des masques et plaquettes 2135 est une solution innovante de pointe, qui est inégalée par sa vitesse et son débit, ainsi que par sa précision et sa résolution, ce qui la rend idéale pour une production de volume moyen à élevé dans l'industrie des semi-conducteurs.
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