Occasion KLA / TENCOR 2138 #9115814 à vendre en France
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Vendu
ID: 9115814
Taille de la plaquette: 8"
Wafer inspection system, 8"
Wafer Chuck: 200mm Low Contact Type
Wafer Handling Autoloader
Single Pentium Processor
KLA-Tencor Software Version 5.1.060
Array Mode Pixel: 0.25, 0.39, 0.62, 1.25
Random Mode Pixel: 0.25, 0.39, 0.62, (1.25 um TBD)
400 MPS Image Computer
Random & Array Mode Inspection
2 Standard Cassette Plates
ADC Option
SAT Option (Segmented Auto Threshold)
Full Compatibility with KLA-Tencor Klarity Software via Directlink
SECS Compliant
XE (Xenon) Ultra Broadband Light Source
Blower Box included
CE Compliant Line Conditioner
Operations Manual & Documentation
CE Compliant Line Conditioner
208V, 3PH, 50/60Hz.
KLA/TENCOR 2138 Mask & Wafer Inspection Equipment est une solution complète entièrement automatisée qui permet d'inspecter à grande vitesse les processus sur les plaquettes et autres dispositifs semi-conducteurs pendant la production. Ce système est spécialement conçu pour aider les fabricants de semi-conducteurs à réduire les défauts et à améliorer la productivité en optimisant leur contrôle global des processus. Cette unité peut aider à détecter les défauts sur les surfaces de masque et de plaquette avec une précision de détection inégalée. Il utilise le traitement avancé de l'image pour identifier les caractéristiques fines avec une influence minimale du bruit et un éclairage non uniforme. En outre, il peut détecter des erreurs de lithographie de bord telles que des trous de contact manquants, augmentant le rendement du processus. Avec une vitesse d'acquisition rapide, il capture des images de plusieurs spécimens à la fois à l'aide de caméras à haut débit, permettant une manipulation plus rapide des plaquettes. Cette machine comprend également une interface opérateur ergonomique et efficace qui simplifie la gestion du workflow. L'outil KLA 2138 offre une variété de fonctionnalités pour améliorer la gestion des plaquettes et des masques. Il sert de poste de travail multi-sites où les utilisateurs peuvent se connecter à des endroits éloignés, sélectionner des parties et analyser des images. Il comprend une fonction de métrologie standard du transistor pour mesurer les dimensions des plaquettes, la distance entre les caractéristiques critiques du processus et d'autres paramètres pertinents. Il peut également mesurer la rugosité de la surface non associée. Le mode d'inspection automatisée des défauts de l'actif est conçu pour examiner les plaquettes en temps réel avec jusqu'à 3 niveaux de grossissement. Il peut identifier les puces et les défauts sur le bord des plaquettes en utilisant des algorithmes avancés. Afin d'assurer une grande précision, le modèle offre différents systèmes de vision qui offrent des inspections optimisées du modèle et des mesures simultanées de localisation des défauts. TENCOR 2138 Masque et Wafer Inspection Equipment fournit également des fonctionnalités de documentation et d'enregistrement. Chaque session de mesure est stockée dans sa base de données et chaque étape est enregistrée avec tous les paramètres. Les rapports générés contiennent des informations détaillées pour chaque plaquette ou masque inspecté. Cela permet de fournir des statistiques fiables sur les distributions de défauts à différents niveaux de configuration. Dans l'ensemble, grâce à ses capacités automatisées de reconnaissance et de notification des défauts, le système d'inspection 2138 Mask & Wafer est la solution idéale pour aider les fabricants de semi-conducteurs à réduire le temps de traitement et à améliorer le rendement des défauts. Avec ses multiples fonctionnalités et capacités, il peut garantir efficacement et efficacement la plus haute qualité pour une variété d'exigences de production et de processus.
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