Occasion KLA / TENCOR 2139 #293606933 à vendre en France
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KLA/TENCOR 2139 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes développé par KLA pour la fabrication de semi-conducteurs. Le système est basé sur la technologie laser pour l'inspection automatisée d'une gamme de défauts sur les plaquettes, les masques et les LCD. Il fournit un alignement de haute précision des échantillons avec son étage de plaquette double automatisé et une mesure de large surface avec la ligne laser haute résolution. L'unité KLA 2139 est conçue pour maximiser la productivité du processus d'inspection, avec une mesure précise des défauts en temps réel. Il peut rapidement détecter le déplacement des motifs entre le masque et la plaquette, ainsi que de subtiles différences de couleur dans les LCD. La machine offre également une puissante capacité d'analyse post-inspection, avec un logiciel puissant pour fournir une analyse robuste et une évaluation statistique, pour assurer des résultats fiables et reproductibles. Les principaux composants de l'outil comprennent la ligne laser haute résolution et l'étage double wafer automatisé. La ligne laser haute résolution offre une longue longueur de balayage jusqu'à 150 mm et des foyers dynamiques élevés, avec une grande profondeur de champ, pour la détection complète des défauts. L'étage Double Wafer Automatisé assure un alignement précis de l'échantillon et fournit des résultats répétables de façon uniforme sur l'ensemble de la plaquette. TENCOR 2139 dispose également d'un large éventail de technologies de pointe, telles que l'optimisation de la focalisation laser, l'inspection des bords, la classification des défauts, l'analyse des particules et la métrologie de la taille des défauts. Le modèle offre également une technologie sophistiquée de diode électroluminescente pour détecter les endroits défectueux et fournir une plus grande précision des données. L'équipement peut être utilisé pour un large éventail d'applications et d'inspections, y compris les LCD, les capteurs électroniques, l'IDH, la postérisation et la contrainte du film, l'analyse du circuit et le comptage des couches, et la surveillance des processus. Le système est également configuré et calibré avec des échantillons transparents, afin de faciliter la mesure et la traçabilité des défauts. 2139 est très fiable et offre un large éventail d'avantages, y compris un processus d'inspection optimisé, une meilleure précision des mesures et un coût réduit par plaquette. Avec ses performances robustes et fiables, la machine est adaptée à toute application nécessitant une inspection rapide et fiable du masque et des plaquettes.
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