Occasion KLA / TENCOR 2139 #9230528 à vendre en France

KLA/TENCOR 2139 est un équipement d'inspection de masque et de plaquette, conçu pour mesurer et inspecter avec précision tout au long du processus de fabrication des composants de masque et de plaquette. Il dispose d'une inspection rapide et non destructive des plaquettes avec précision et répétabilité, ainsi que de capacités uniques comme la détection des arêtes et la caractérisation rapide des défauts. Au cœur du système se trouve son unité optique avancée, permettant l'imagerie de wafer haute résolution jusqu'à 17µm avec un taux de couverture de surface jusqu'à 50 wafers par heure. Son détecteur CCD Dual Target unique assure une imagerie non destructive rapide et de grand champ avec des performances optimisées de signal à bruit, à partir d'une large sélection de modes d'imagerie disponibles pour répondre à un large éventail de besoins. La KLA 2139 offre une mesure précise de la hauteur et une caractérisation automatisée des défauts grâce à une comparaison à trois voies, permettant aux utilisateurs de différencier rapidement les défauts spécifiques. Son logiciel de contrôle avancé simplifie encore l'analyse des défauts en permettant la comparaison simultanée d'images 2D et 3D prises sous différents angles grâce à sa technologie Dual Reconstruction, permettant aux utilisateurs d'avoir un aperçu des attributs de surface et de sous-surface de la topographie de la plaquette. La machine est également équipée d'une technologie de visualisation hors axe unique qui permet de détecter rapidement les défauts des structures à double face et des films à motifs multi-profondeur sur des plaquettes à faible k utilisées dans la fabrication de dispositifs de mémoire. Cette technologie est particulièrement adaptée à la caractérisation de couches de butée de gravure de contact (CESL) et de couches d'oxyde de grille (GO) difficiles à mesurer avec des techniques hors axe. TENCOR 2139 comprend également des options pour la manipulation automatique ou manuelle des plaquettes, avec des configurations pour traiter les deux côtés de la plaquette simultanément ou individuellement. L'outil dispose également d'une option de filage automatisée et précise qui sépare rapidement et efficacement les plaquettes bonnes et défectueuses. En conclusion, 2139 offre une technologie d'imagerie et d'analyse supérieure pour l'inspection des masques et des plaquettes dans un ensemble robuste et hautement configurable, avec certaines des vitesses d'inspection les plus rapides disponibles dans l'industrie aujourd'hui. Son atout avancé en matière d'imagerie et de caractérisation des défauts permet aux utilisateurs de déterminer rapidement et avec précision les défauts de leurs composants et d'optimiser leurs processus de fabrication.