Occasion KLA / TENCOR 2139 #9244609 à vendre en France
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Vendu
ID: 9244609
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2008
Brightfield defect wafer inspection system, 8"
2008 vintage.
KLA/TENCOR 2139 est un équipement d'inspection de masque et de wafer haut de gamme. Il est conçu pour l'inspection, l'analyse et la mesure des plaquettes de circuits intégrés, permettant aux fabricants d'identifier rapidement les anomalies. Le système convient à des procédés de lithographie avancés, tels que la lithographie par immersion ou le double balisage. KLA 2139 utilise un faisceau optique 5x unique pour inspecter rapidement et avec précision les plaquettes pour détecter les défauts et les paramètres critiques. Ses algorithmes de reconnaissance de motifs, de détection d'anomalies et de masquage de lithographie extrêmement précis permettent d'examiner attentivement les dispositifs sensibles tout au long du processus d'inspection. L'unité offre également une gamme de fonctionnalités telles que la catégorisation automatique des défauts, la révision des défauts en temps réel et la cartographie des bords de processus. La machine comprend des techniques d'éclairage avancées telles que le champ lumineux et le champ noir, ainsi que divers modes d'imagerie tels que l'imagerie rétrodiffusée et l'imagerie ultraviolette proche. Ces techniques permettent de révéler des caractéristiques et des détails qui ne sont souvent pas visibles lors des inspections traditionnelles. La combinaison de l'éclairage avancé, des modes d'imagerie et des capacités de reconnaissance des motifs donne des résultats rapides, faciles à interpréter et des décisions mieux informées. TENCOR 2139 peut également effectuer des mesures d'alignement, de recouvrement et d'écart de recouvrement - essentielles pour un positionnement précis lors des processus de lithographie. Ceci assure une épaisseur constante de la résistance appliquée et la résolution à travers la plaquette. Il permet également de réduire les modifications coûteuses du masque et de retravailler. L'outil est équipé d'une technologie de focalisation automatique exclusive qui réduit le temps d'imagerie en se concentrant automatiquement sur la plaquette avant chaque prise de vue. Sa construction rigide à base de granit et son dispositif d'isolation des vibrations permettent de limiter les tolérances dimensionnelles, même dans les environnements de production à haute densité. Avec sa facilité d'utilisation, ses capacités avancées et sa flexibilité, 2139 est un outil idéal pour la lithographie avancée et la production de microélectronique.
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