Occasion KLA / TENCOR 2350 #9270188 à vendre en France
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Vendu
ID: 9270188
Taille de la plaquette: 8"-12"
Style Vintage: 2001
High-resolution imaging inspection system, 8"-12"
Dual open EFEM, 8"
GEM SECS and HSMS
Signal light towers: (4) Colors (R, Y, G, B)
Xenon lamp: 150 W
Wavelength illumination: 370~720 nm
Wavelength band: Visible, UV, I-line
Pixel size: 160~250 nm
User interface:
Monitor
Wafer display
Industrial PC (IPC)
Image computer (IMCs)
(48) IMC Boards
Does not include MM2S Board
Inspection station:
Granite suspension: Power
Cooling stage
Pneumatics optics plate
Air filter
Wafer handler (EFEM):
Dual open, 8"-12"
Dual SMIF, 8"
Dual FIMS, 8"-12"
Missing parts:
Lower monitor
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 5 V
Keyboard, mouse and joystick
Solenoid board with valve
AF LED 1 Board
LP2 Cover
Y1 Flex board
(2) FVPA Boards
Robot controller
Fan Filter Unit (FFU)
UI and IS connecting cable
RGB Cable
RS232 Cable
Joystick cable
EMO Cable
(4) IMACS to UI Cables
(2) AZP FFA Cables
MIB Cable
Digital camera cable
2001 vintage.
KLA/TENCOR 2350 est un équipement d'inspection de masque et de plaquette très avancé, conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il combine plusieurs technologies et techniques pour l'imagerie, la visualisation et la caractérisation des défauts automatiquement, afin de localiser et d'identifier rapidement les plus petites particules de contaminants et les dommages à la surface des dispositifs semi-conducteurs. Le système optique KLA 2350 utilise un éclairage cohérent à deux sources lumineuses et une imagerie dynamique élevée pour réduire le besoin d'inspection manuelle et créer des visualisations optimisées de la surface et des caractéristiques. Il est également capable de s'adapter automatiquement à différents substrats de plaquettes, ce qui lui permet de capturer des images à haute résolution quelle que soit l'orientation et la taille. En outre, son unité d'imagerie au microscope interférentiel est capable d'agrandir 4X pour la capture et l'analyse de données très détaillées. KLA proprietary Multi-Command Vector Processor (MCVP) est utilisé pour évaluer les images capturées en temps réel et rechercher des défauts localisés, qui sont ensuite segmentés et identifiés par la machine. Ce principe de détection directe des défauts locaux réduit la taille globale des données, permettant une analyse plus rapide et plus précise par rapport à l'outil SEM/EDS traditionnel. Il est également compatible avec une large gamme de types d'échantillons, ce qui le rend encore plus applicable à une grande variété d'applications. En outre, la fonction TENCOR Contamination Area Mapping (CAM) s'intègre pleinement aux capacités d'analyse TENCOR 2350 pour détecter et repérer les défauts bruts sur une plaquette, fournissant aux utilisateurs des informations significatives et réduisant le temps et les coûts d'inspection. L'actif est également compatible FIPS, de sorte que toutes les données sont protégées contre l'accès non autorisé selon les normes gouvernementales. Dans l'ensemble, 2350 est un modèle intelligent et performant d'inspection des matériaux de surface conçu pour détecter et examiner de manière efficace même les plus petits défauts. Avec sa combinaison d'optiques puissantes et de technologies d'analyse de haut niveau, l'équipement fournit la précision et les données nécessaires aux tâches de production et de recherche.
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