Occasion KLA / TENCOR 2351 #293606934 à vendre en France

KLA / TENCOR 2351
ID: 293606934
Wafer defect inspection system.
KLA/TENCOR 2351 est un équipement de pointe d'inspection de plaquettes et de masques conçu pour fournir des mesures de haute résolution de la surface et du profil de la structure de la matrice, des couches et de l'information concernant tout défaut de fabrication. Ce système très avancé est équipé d'une gamme d'imagerie numérique, d'analyse automatisée et de technologies avancées d'inspection de surface et de masque. L'unité KLA 2351 est capable d'inspecter rapidement et avec précision les dimensions des caractéristiques et les matériaux, d'aider à l'assurance des défauts et à l'amélioration continue des processus. TENCOR 2351 est équipé d'une machine Macro Die Inspection, qui permet d'inspecter jusqu'à 2000 meurent sur une plaquette de 3 "à pleine résolution. Grâce à la technologie d'imagerie avancée de 2351, les images ayant jusqu'à 8MP peuvent être acquises. KLA/TENCOR 2351 est également capable de rechercher des défauts tels que la rugosité des parois latérales, des défauts dus à une activité antérieure du processus, des dommages de dictage ou des dommages indésirables. L'outil avancé d'inspection des masques de KLA 2351 permet l'inspection des masques avec imagerie et balayage haute performance. L'optique pour l'inspection du masque a été conçue pour l'imagerie haute résolution, comme avec des images de dos et des mesures de CD. L'atout 2351mask est capable de lire des images de masques de jusqu'à 2µm avec une précision et une précision extrêmes. De plus, les défauts du substrat tels que l'inadéquation CD et l'uniformité CD peuvent être surveillés avec une précision sous-µm à l'aide de leur modèle d'imagerie CD-SEM. TENCOR 2351 est également équipé d'un équipement sophistiqué d'analyse automatisée des défauts, qui permet d'identifier automatiquement les défauts microscopiques et de signaler la nature des défauts détectés. Les dispositifs semi-conducteurs avancés d'aujourd'hui nécessitent des procédés de fabrication de semi-conducteurs de plus en plus performants, et 2351 est équipé d'un logiciel de pointe qui permet de surveiller, mesurer et classer les particules, les fosses, les fosses et autres défauts critiques de surface. En outre, KLA/TENCOR 2351 offre une gamme complète de capacités d'analyse de données et de rapports, permettant aux ingénieurs de processus de se déplacer facilement entre l'analyse automatisée des défauts, la gestion de l'équipement et le contrôle des processus. En résumé, KLA 2351 est un système vraiment avancé, riche en fonctionnalités pour l'inspection des plaquettes et des masques. TENCOR 2351 fournit une imagerie haute résolution, une analyse automatisée des défauts et des capacités avancées d'inspection de la surface et du masque des plaquettes, ce qui facilite le contrôle des processus et l'assurance des défauts. En outre, avec son unité d'analyse automatisée, 2351 peut détecter les défauts microscopiques avec facilité et précision, fournissant à l'ingénieur de procédé la meilleure assurance et le meilleur contrôle possible.
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