Occasion KLA / TENCOR 2351 #9251384 à vendre en France

KLA/TENCOR 2351 est un équipement automatisé d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour détecter les défauts physiques et les contaminants sur les masques de circuits intégrés (IC) et les plaquettes de semi-conducteurs. Le système peut mesurer des motifs et des composants individuels sur des masques et des plaquettes IC tels que des grilles de transistors, des superpositions et des interconnexions. L'unité utilise une combinaison d'images optiques à contraste différentiel (DIC) et d'algorithmes de reconnaissance de motifs programmables automatisés pour inspecter les composants sur le masque ou la plaquette. La machine est conçue pour inspecter des surfaces allant jusqu'à 12 pouces de plaquettes ou de masques et peut être facilement intégrée dans une ligne de fabrication IC. Les images obtenues par l'imagerie DIC sont d'abord envoyées à l'unité de traitement intégrée de l'outil pour une analyse plus poussée. Cette unité de traitement est capable de détecter les défauts, ainsi que d'autres variations de surface, telles que les rayures, les taches et la contamination. En outre, l'actif comprend une interface utilisateur graphique conviviale (interface graphique). Cela permet à l'utilisateur de personnaliser les paramètres d'inspection et les algorithmes utilisés pour les tests. Par exemple, l'utilisateur peut choisir d'inspecter une certaine partie de la plaquette ou du masque à des niveaux de contraste différents ou dans des régions différentes. De plus, l'utilisateur est capable de personnaliser le modèle pour détecter des défauts critiques tels que des raccourcis de fil et des circuits ouverts ou pour inspecter des caractéristiques plus petites telles que des vias de contact et des plots. De plus, KLA 2351 peut identifier les décalages de motifs et les dégradations. Il peut également détecter une contamination particulaire sur la plaquette ou le masque. Cet équipement est équipé d'un objectif haute résolution pour capturer et analyser avec précision les petites fonctionnalités jusqu'à 0,4 microns. De plus, il est capable de capturer des images de surfaces réfléchissantes avec moins de 0,2 % de réflectivité. Dans l'ensemble, le système TENCOR 2351 est un outil efficace pour analyser les masques de circuits intégrés et les plaquettes pour détecter les défauts physiques, la contamination et d'autres irrégularités. Avec ses algorithmes de reconnaissance de motifs programmables, son interface graphique conviviale et ses capacités d'imagerie haute résolution, cette unité est un choix idéal pour l'inspection et l'analyse automatisées d'IC.