Occasion KLA / TENCOR 2360 IS #9187557 à vendre en France
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Vendu
ID: 9187557
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
High-resolution imaging inspection system, 8"
Dual open wafer handler
User interface
Line conditioner
Distribution board
Rack for user interface
Signal tower
Case for Jig tool
(2) Parts boxes
(3) Cables
Key board & mouse
Joystick
Duct
Spacer
2001 vintage.
KLA/TENCOR 2360 IS est un masque robuste et un équipement d'inspection de plaquettes conçu pour répondre aux exigences des fabricants de fonderies et de logiques avancées. Ses algorithmes avancés et ses systèmes optiques sophistiqués lui permettent d'identifier et de mesurer avec précision les caractéristiques critiques des masques et des plaquettes avec une vitesse et une précision sans précédent. Sa capacité d'inspection complète du masque permet de détecter les défauts de haute précision, y compris les mesures de rugosité des bords de ligne (LER), avec une précision d'un nanomètre. Sa technologie d'inspection par source lumineuse détecte les revêtements antireflets de microcontamination et les couches minces, ainsi que les défauts locaux sur le masque. Le système effectue également une classification automatique des défauts, en veillant à ce que les défauts induits par le processus soient identifiés et filtrés, ce qui réduit le taux global de fausses alarmes. Ses fonctions d'inspection des plaquettes comprennent l'isolation automatisée avancée des défauts, la cartographie et l'interface avec les outils d'examen des défauts, permettant une analyse rapide des modèles de défauts. L'unité dispose également d'une imagerie multi-pixels à faible bruit, lui permettant de détecter les défauts qui peuvent être manqués avec la sensibilité d'un pixel. Il propose également une métrologie de recouvrement de plaquettes haute vitesse et haute résolution, une classification des réseaux neuronaux et des algorithmes de suivi des défauts pour plus de précision. KLA 2360 IS comprend une machine d'inspection optique automatisée (AOI) qui permet une inspection complète des plaquettes et autres substrats. Cet outil comprend un appariement automatisé des modèles et des inspections ponctuelles pour l'empreinte, la largeur des lignes, la dimension critique (CD), le recouvrement et l'inspection d'effondrement, ce qui permet aux fabricants de réduire les rendements et les coûts. De plus, son architecture source flexible est capable de tenir compte de différents niveaux de correction de la vision, y compris les analyses d'apparence hors foyer et frontale. TENCOR 2360 IS fournit des systèmes d'automatisation avancés pour l'installation et pour aider à la planification des processus. Ses fonctions d'auto-étalonnage peuvent être utilisées pour adapter rapidement et précisément l'actif aux exigences spécifiques à l'emploi. Cela permet d'économiser du temps et des coûts en éliminant le besoin d'étalonnage manuel. Son interface graphique conviviale permet également aux utilisateurs de configurer et d'exploiter le modèle avec une formation minimale. Dans l'ensemble, 2360 IS est un équipement puissant et de précision qui fournit un niveau de performance et d'efficacité inestimable pour l'inspection des masques et des plaquettes. Avec ses algorithmes avancés, son optique sophistiquée et son automatisation complète, il est l'un des meilleurs systèmes d'inspection de masques et de plaquettes disponibles sur le marché.
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