Occasion KLA / TENCOR 2367 #293815941 à vendre en France

KLA / TENCOR 2367
ID: 293815941
Inspection system.
KLA/TENCOR 2367 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes équipé de capacités avancées de contrôle des processus et de gestion des rendements. Ce système est conçu pour s'assurer que l'intégrité du masque et de la plaquette est atteinte avec un contrôle rigoureux des processus et une répétabilité. L'unité intègre le balayage rapide, le traitement d'image et l'analyse d'inspection afin de détecter les défauts au niveau du masque et de la plaquette. KLA 2367 a la capacité de détecter les défauts et la variabilité du niveau des particules, ce qui permet aux utilisateurs de surveiller avec précision les paramètres de contrôle des processus et d'assurer des rendements adéquats. Il peut également détecter des défauts subtils et la variabilité dans un seul balayage qui peut sinon rester non détecté dans les plates-formes d'inspection traditionnelles. La machine dispose de capacités d'alignement automatique et de cartographie des plaquettes, ainsi que d'un outil de métrologie hautement sensible qui permet de garantir que la répétabilité des masques et des plaquettes est réalisée avec la plus grande précision. TENCOR 2367 fournit deux modes d'inspection : le champ lumineux et le champ noir. L'inspection de Brightfield est conçue pour détecter les variations de contraste, les défauts au niveau des particules et les défauts du film translucide. Il peut également détecter des particules ou des contaminants qui peuvent affecter le rendement d'une plaquette et d'un masque. L'inspection en champ sombre, par contre, est conçue pour détecter les défauts au niveau des particules, ainsi que les taches sombres et autres non-uniformités dans un substrat. 2367 est un atout puissant qui fournit une foule de capacités avancées pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il dispose d'un traitement d'image automatisé efficace et d'outils intuitifs faciles à utiliser qui le rendent simple à utiliser et à entretenir. Ses capacités de haute résolution, associées au contrôle des processus en temps réel et à la gestion des rendements, en font une solution idéale pour les exigences critiques d'inspection des masques et des plaquettes. Les taux de balayage rapides garantissent qu'un suivi complet des défauts et de la variabilité peut être effectué en un seul balayage. Il en résulte des rendements précis et fiables pour les plaquettes et masques critiques.
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