Occasion KLA / TENCOR 2367 #9197191 à vendre en France
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Vendu
ID: 9197191
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Inspection system, 12"
Wafer calibration kit include DSW / Shiny
Carrier ID HW Options
KEYENCE BCR single wire (2 CID devices)
Safety interlocks:
Open panel
Lamp
Facilities:
Power: 208V, 3 phase
Vw: 25 in Hg
CDA: 5 Sft/min
Exhaust: 600 ft3/min
Exhaust: 100 ft3/min
Exhaust: 1300 ft3/min
Integrated mini environment included
FEC Computer system with the following minimum features:
Intel pentium 4 CPU 3.00GHz
504MB memory (RAM)
Dell computer
Intel xeon CPU 3.4GHz
2GB Memory (RAM)
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
IDM
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Remote guided vehicles (RGV/AGV)
Auto switch for dual use environments
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management/wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64x64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Photo option:
FEM
PWQ
Interface:
Data transfer
DVD-R
Ethernet
23XX Options :
Pixel size:
Visible: 0.25/0.39/0.62
IV Broadband & narrowband: 0.12/0.16/0.20
Full sky: 0.12/0.16/0.20
Edge contrast: 0.12/0.16/0.20
Hardware optic :
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
High resolution review camera
General system info:
Loading configuration: FOUP
(2) Cassette
(2) FOUP Positions
System on-line: Yes
Line conditioner: Yes
Cables: Yes
Fan module: Yes
Shipping brackets installed upon deinstall: Yes
GEM/SECS Interface: Yes
Hard disk: 876G
Currently stored in cleanroom
2007 vintage.
KLA/TENCOR 2367 est un équipement automatisé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour l'industrie de la fabrication des puces. Il combine des technologies avancées d'imagerie, d'interférométrie et de microscopie, pour fournir une précision et des performances d'image inégalées. Le système comprend une boîte de travail au niveau de l'outil qui abrite un dispositif de projection d'image numérique avec divers paramètres configurables. La cinématique intégrée cinq axes de KLA 2367 permet un déplacement de haute précision du dispositif de projection et de l'échantillon sur trois axes tout en maintenant la même focalisation. TENCOR 2367 utilise des éclairages de champ lumineux, de champ sombre et de polarisation pour fournir à la fois le contraste et la réflectivité pour permettre la détection et la cartographie d'un large éventail de types de défauts, y compris les défauts de bord, les déconnexions de ligne fine et les défauts de désalignement. 2367 utilise également des algorithmes avancés pour l'amélioration du contraste, le blocage et le regroupement, la segmentation des images et la cartographie qui permettent de détecter les anomalies les plus subtiles. L'unité utilise des techniques avancées de filtrage d'images, telles que la classification des défauts, la réduction du bruit et le faux contraste de couleur pour réduire davantage le nombre de fausses alarmes et assurer la plus grande précision de l'inspection des plaquettes. Au niveau de l'outil, la machine comprend un logiciel d'interface utilisateur avec une interface personnalisable, une configuration, une inspection/étalonnage, un examen des défauts et des capacités d'optimisation des processus. L'interface utilisateur combine des commandes intuitives avec un affichage graphique et un support multilingue. L'interface utilisateur comprend l'examen rapide et facile de l'image, le dimensionnement des défauts et la cartographie de l'emplacement avec diverses capacités de rapport. Les rapports peuvent être personnalisés et exportés dans des formats standard de l'industrie pour faciliter le partage et le stockage des données. KLA/TENCOR 2367 est conçu pour la précision et la fiabilité, fournissant des fonctionnalités pour aider les utilisateurs à effectuer le diagnostic, l'examen et le traitement des défauts rapidement et efficacement. Avec sa conception flexible, modulaire et son logiciel intégré, KLA 2367 est un outil essentiel pour les applications d'inspection des plaquettes et des masques.
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