Occasion KLA / TENCOR 2367 #9197191 à vendre en France

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ID: 9197191
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Inspection system, 12" Wafer calibration kit include DSW / Shiny Carrier ID HW Options KEYENCE BCR single wire (2 CID devices) Safety interlocks: Open panel Lamp Facilities: Power: 208V, 3 phase Vw: 25 in Hg CDA: 5 Sft/min Exhaust: 600 ft3/min Exhaust: 100 ft3/min Exhaust: 1300 ft3/min Integrated mini environment included FEC Computer system with the following minimum features: Intel pentium 4 CPU 3.00GHz 504MB memory (RAM) Dell computer Intel xeon CPU 3.4GHz 2GB Memory (RAM) DVD-ROM Mouse Keyboard IDM InlineADC ITF Load port UI MDAT Mixed mode NFS Data transfer HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface: HSMS (E5 / E30 / E37) GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30) SEMI E84 SEMI E116 Hokuyo sensors for use with: Overhead transport (OHT) Remote guided vehicles (RGV/AGV) Auto switch for dual use environments Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management/wafer tracking) Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job) Spatial population analysis: Power options Array segmentation Patch images: 64x64 Pixel perfect RBB RBMT Sensitivity tuner NPA Photo option: FEM PWQ Interface: Data transfer DVD-R Ethernet 23XX Options : Pixel size: Visible: 0.25/0.39/0.62 IV Broadband & narrowband: 0.12/0.16/0.20 Full sky: 0.12/0.16/0.20 Edge contrast: 0.12/0.16/0.20 Hardware optic : BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm) BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm) Edge contrast 1600 MP PS Image computer Array / Random modes High mag review optics Anti-blooming TDI High resolution review camera General system info: Loading configuration: FOUP (2) Cassette (2) FOUP Positions System on-line: Yes Line conditioner: Yes Cables: Yes Fan module: Yes Shipping brackets installed upon deinstall: Yes GEM/SECS Interface: Yes Hard disk: 876G Currently stored in cleanroom 2007 vintage.
KLA/TENCOR 2367 est un équipement automatisé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour l'industrie de la fabrication des puces. Il combine des technologies avancées d'imagerie, d'interférométrie et de microscopie, pour fournir une précision et des performances d'image inégalées. Le système comprend une boîte de travail au niveau de l'outil qui abrite un dispositif de projection d'image numérique avec divers paramètres configurables. La cinématique intégrée cinq axes de KLA 2367 permet un déplacement de haute précision du dispositif de projection et de l'échantillon sur trois axes tout en maintenant la même focalisation. TENCOR 2367 utilise des éclairages de champ lumineux, de champ sombre et de polarisation pour fournir à la fois le contraste et la réflectivité pour permettre la détection et la cartographie d'un large éventail de types de défauts, y compris les défauts de bord, les déconnexions de ligne fine et les défauts de désalignement. 2367 utilise également des algorithmes avancés pour l'amélioration du contraste, le blocage et le regroupement, la segmentation des images et la cartographie qui permettent de détecter les anomalies les plus subtiles. L'unité utilise des techniques avancées de filtrage d'images, telles que la classification des défauts, la réduction du bruit et le faux contraste de couleur pour réduire davantage le nombre de fausses alarmes et assurer la plus grande précision de l'inspection des plaquettes. Au niveau de l'outil, la machine comprend un logiciel d'interface utilisateur avec une interface personnalisable, une configuration, une inspection/étalonnage, un examen des défauts et des capacités d'optimisation des processus. L'interface utilisateur combine des commandes intuitives avec un affichage graphique et un support multilingue. L'interface utilisateur comprend l'examen rapide et facile de l'image, le dimensionnement des défauts et la cartographie de l'emplacement avec diverses capacités de rapport. Les rapports peuvent être personnalisés et exportés dans des formats standard de l'industrie pour faciliter le partage et le stockage des données. KLA/TENCOR 2367 est conçu pour la précision et la fiabilité, fournissant des fonctionnalités pour aider les utilisateurs à effectuer le diagnostic, l'examen et le traitement des défauts rapidement et efficacement. Avec sa conception flexible, modulaire et son logiciel intégré, KLA 2367 est un outil essentiel pour les applications d'inspection des plaquettes et des masques.
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