Occasion KLA / TENCOR 2367 #9226903 à vendre en France
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![KLA / TENCOR 2367 Photo Utilisé KLA / TENCOR 2367 À vendre](https://cdn.caeonline.com/images/kla-tencor_2367_995624.jpg)
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Vendu
ID: 9226903
Taille de la plaquette: 12"
Bright field patterned inspection system, 12"
(2) Load ports with FOUP capable (ASYST)
RFID Type: Load ports carrier reader
Robot: YASKAWA
Light source: 350 W Hg-Xe illumination
Image process system: TDI (3200MPPS)
Resolution: 120 nm
Pixel size: 0.12, 0.16, 0.20, 0.25, 0.39, 0.62 um
Special function: Edge contrast illumination mode
Light mode:
I-Line
G-line
Broadband UV
Visible
User interface
Power condition
Missing parts:
Qty Part no Description
(16) 0076508-000 Tested, SDB1600 MPX, v2 (Sensor daughter boards)
(1) 0279583-000 FRU assy, amplifier, stage,z
(1) 0093388-001 Tested, PSB 3200 MPX, boards b(DC to DC board)
(1) 730-774350-001 Cable, mac-d to x flex signal
(5) 0086079-002 Tested, input data adaptors (IDA PCB)
(1) 0031224-003 Assy, filter wheel,236x
(1) 730-733835-001 Cable, mac to mac-d power
(1) 730-772676-002 Cable, pneumatic solenoid pigtail
(1) 0095782-000 Assy, fiber optic node 0 to 5
(1) 0095784-000 Assy, fiber optic node 2 to 6
(1) 0095785-000 Assy, fiber optic node 3 to 7
(1) 0095787-000 Assy, fiber optic node 4 to 8
(1) 0095789-000 Assy, fiber optic node 5 to 9
(1) 0095791-000 Assy, fiber optic node 6 to 10
(1) 0095792-000 Assy, fiber optic node 7 to 11
(1) 0103943-000 Assy, fo, TDC 0 out, CRTA to node 0-1
(1) 0103944-000 Assy, fo, TDC 1 out, CRTA to node 2-3
(1) 0103945-000 Assy, SGB out to R tap
(1) 0095216-000 Net gear 24 ports net switch plus mounting bracket in UI box
(1) 0115395-000 Upper, monitor (VDU) in UI
(1) 0119930-000 G5 x-server R tap (APPLE Image system)
(4) 0101705-000 Assy, tested, G5 x-server nodes
(2) 0276654-000 FRU assy, tested power supplies, m31 host/n
(1) PN Unknown Trackball mouse on UI unit
(1) 0083821-000 Line conditioner (Mains transformer)
(3) 0298771-000 Image computer (APPLE) hard discs
(6) 0066560-000 SCC DELL Computer hard discs.
KLA/TENCOR 2367 est un équipement entièrement automatisé, sans contact, de masque et d'inspection des plaquettes. Il est conçu pour la détection des défauts, la mesure des dimensions critiques et la surveillance de la disposition des motifs sur les photomasques et les plaquettes. Le système utilise la reconnaissance avancée des motifs et l'optique exclusive pour identifier spontanément les défauts planaires et 3D sur les côtés avant et arrière des masques et des plaquettes. Il dispose également d'une interface logicielle intuitive et facile à utiliser qui permet aux utilisateurs expérimentés et novices de programmer et de surveiller rapidement et efficacement l'optimisation des processus. L'unité peut être configurée pour accueillir une variété de pièces, y compris des plaquettes de 4 pouces à 12 pouces et des masques de 4 pouces à 25 pouces. KLA 2367 utilise une source LED haute vitesse pour atteindre un débit maximal tout en permettant une vitesse d'inspection de 8 micromètres par seconde pour l'inspection avant et arrière. La machine dispose également d'une amélioration avancée de l'image qui comprend le contrôle de la mise au point, le contrôle du gain et la correction de l'alignement. De plus, TENCOR 2367 dispose d'un outil d'éclairage spécialisé conçu pour réduire de façon significative la rotation des plaquettes et des masques nécessaires à l'inspection des défauts. Cette caractéristique élimine également les défauts potentiels qui peuvent résulter d'une exposition prolongée à la lumière d'inspection. En plus de son optique supérieure et de sa reconnaissance avancée des motifs, 2367 offre une variété de logiciels automatisés et d'analyse de données, y compris le contrôle statistique des processus (RCP), la classification des défauts et les outils de post-examen. Cela permet à l'actif de détecter et de consigner les défauts critiques avec une grande précision. Le logiciel comprend également une fonction complète de génération de rapports qui fournit des rapports personnalisables adaptés à la traçabilité et à l'analyse statistique. Le modèle dispose également d'un module « Point & Look » qui permet à un utilisateur de rapidement et facilement repérer et d'inspecter des emplacements spécifiques sur le masque et la plaquette. Cela élimine le besoin de microscopie manuelle ou d'autres techniques, permettant une analyse plus rapide et une plus grande précision. En outre, l'équipement KLA/TENCOR 2367 peut être intégré à d'autres appareils, ce qui permet un processus d'analyse complet et automatisé. En fin de compte, KLA 2367 fournit une détection inégalée des défauts et des mesures dimensionnelles critiques, permettant l'inspection d'une large gamme de photomasques et de plaquettes.
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