Occasion KLA / TENCOR 2367 #9276696 à vendre en France
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Vendu
ID: 9276696
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Inspection system, 12"
Carrier ID readers
Operating system: Windows 2000 SP4
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management / wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
Interface data transfer DVD-R ethernet
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64 x 64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Hardware optic:
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
Review camera
2007 vintage.
KLA/TENCOR 2367 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes spécialement conçu pour l'inspection optique précise de la filière et des substrats. KLA 2367 fournit une inspection détaillée, complète et précise des substrats pour détecter les défauts, tout en offrant des niveaux extrêmes de répétabilité et de flexibilité pour de nombreuses applications. Le système est équipé d'une caméra CCD de qualité scientifique à pulvérisation 5MP pour l'inspection haute résolution. La caméra a un champ de vision de 25,4/17,6 mm et elle offre des résolutions d'imagerie sélectionnables de 5, 2,5, 1,25 microns/pixel, ainsi que 1 micron/pixel en mode transmissif. TENCOR 2367 dispose également d'une technologie de capteur CMOS propriétaire qui élimine la distorsion d'imagerie lors de l'examen des caractéristiques fines et de la géométrie. Ceci est activé par une technique brevetée sans étalonnage qui offre une superbe répétabilité. La technologie d'alignement brevetée de la 2367 permet à l'unité de fournir des résultats d'inspection extrêmement précis. Lors de chaque étape du processus de contrôle, l'échantillon testé est aligné sur les grilles de contrôle par l'intermédiaire d'un mécanisme de codage unique. Cela garantit que les données de chaque échantillon sont localisables avec précision sous l'optique d'imagerie, quelle que soit la position de l'échantillon dans la machine. L'algorithme de couture intégré fournit une fonction « diapositive » qui permet à l'outil de réaliser des mosaïques d'images dynamiques tout en étant compensé contre la non-linéarité et la non-symétrie des étages. Cela signifie que les données provenant de différentes parties du substrat, y compris les zones retravaillées, eutectiques et de fixation des matrices, peuvent être comparées plus facilement. KLA/TENCOR 2367 est également conçu pour la détection rapide et efficace des défauts. En utilisant des étages motorisés à haut débit, l'actif est capable de scanner des substrats entiers à une vitesse allant jusqu'à 200mm/seconde. En outre, il soutient l'intégration de diverses sources de données comme un lien EDA pour rationaliser le transfert de données par défaut à la conception. En conclusion, KLA 2367 est un modèle idéal pour l'inspection des plaquettes et des masques. Sa combinaison d'imagerie de précision, de technologie d'alignement avancée et d'algorithme de couture efficace permet aux utilisateurs d'obtenir le plus haut niveau de précision lors de l'examen des substrats pour détecter les défauts.
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