Occasion KLA / TENCOR 2367 #9293245 à vendre en France

KLA / TENCOR 2367
ID: 9293245
Inspection system.
L'équipement KLA/TENCOR 2367 d'inspection des masques et des plaquettes est un système automatisé avancé d'inspection des plaquettes et des masques conçu pour analyser rapidement et avec précision les procédés de fabrication des semi-conducteurs. Il utilise un instrument, un logiciel et une unité optique entièrement automatisés et intégrés pour détecter les défauts visuels et métrologiques sur les plaquettes à semi-conducteurs avec plus de précision et de vitesse que les méthodes d'inspection traditionnelles. La machine d'inspection KLA 2367 est équipée de fonctionnalités avancées telles qu'une caméra de vision de wafer haute résolution, un positionnement optique automatique (AOP), ainsi que des outils de reconnaissance des motifs et des défauts. Le sous-système d'imagerie plein champ utilise un séparateur de faisceau optique et une caméra CCD pour obtenir une résolution d'image et une reconnaissance de motif supérieures tout en minimisant la distorsion de la caméra. Cela garantit que tout défaut peut être détecté plus rapidement et plus facilement qu'avec la technologie d'inspection traditionnelle. La puissante fonction AOP de TENCOR 2367 permet un alignement extrêmement précis du substrat à moins de 0,25 μ m de la position cible. En outre, l'outil a la capacité d'identifier différents types de défauts grâce à l'utilisation d'algorithmes de reconnaissance de défauts et de traitement d'image. Les outils de reconnaissance des motifs permettent à l'actif de détecter des défauts basés sur différents motifs, tels que des défauts qui n'ont pas été détectés par les méthodes d'inspection traditionnelles. Le modèle fournit également la mesure et l'analyse des caractéristiques critiques, telles que les distances géométriques entre les caractéristiques voisines, les variations par rapport aux formes prévues et les distances entre les caractéristiques des dispositifs à partir de multiples perspectives ou points de vue. Pour effectuer une analyse plus détaillée, 2367 offre également un ensemble de métrologie avancée avec des fonctionnalités pour des mesures à la fois précises et précises. Les outils d'analyse quantitative de l'équipement permettent le suivi et l'évaluation des défauts ainsi que la caractérisation des caractéristiques/structures. En outre, le système offre également un outil d'analyse des fonctionnalités qui peut détecter la taille des fonctionnalités et les variations de forme avec une extrême précision. Dans l'ensemble, le masque KLA/TENCOR 2367 et l'unité d'inspection des plaquettes sont une machine d'inspection automatisée robuste qui peut aider les fabricants de semi-conducteurs à réduire leur coût de possession et à accroître leur rentabilité. Les fonctionnalités avancées et les outils d'analyse puissants de l'outil permettent une détection des défauts plus rapide et plus facile tout en fournissant une excellente précision et précision. De cette façon, KLA 2367 assure le contrôle de qualité dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.
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