Occasion KLA / TENCOR 238 #9091298 à vendre en France

ID: 9091298
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2001
Reticle inspection system, 6" 2001 vintage.
KLA/TENCOR 238 est un masque de haute précision et un équipement d'inspection des plaquettes conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système est conçu pour détecter les défauts sur les plaquettes et masques semi-conducteurs pendant le processus de pré-lithographie. Il est capable de détecter la précision à moins de 12nm, tandis que son fonctionnement à grande vitesse permet d'inspecter jusqu'à 25.000 plaquettes par heure. KLA 238 combine plusieurs technologies d'inspection innovantes pour fournir des mesures précises. Son unité d'alignement conductrice intégrée détecte efficacement les défauts de motif sur le bord de la plaquette pour un placement uniforme de la matrice. Un processeur d'image doté d'un algorithme de séquence binaire pseudo-aléatoire (PRBS) détecte et isole précisément les défauts dans la résolution au niveau du nanomètre. La machine utilise également un réglage breveté de détection de protubérance à haute vitesse (HPD) pour identifier les défauts de surface, tels que les rayures, les fosses et les petits contaminants de particules. TENCOR 238 peut détecter des contaminants de particules entre 2 et 12 µm, et est équipé d'un module de transfert de données et de communication pour l'intégration directe de données avec les réseaux d'automatisation en usine existants. Cet outil dispose également d'un algorithme unique de repérage passe/échec qui aide à réduire les fausses détections positives. La conception compacte de l'actif facilite son déploiement dans n'importe quel environnement de production de semi-conducteurs. Son plan dynamique est capable d'atteindre un désalignement maximal de ± 6 σ, permettant des inspections répétables et ordonnées du profil de l'appareil. Les capacités d'imagerie améliorées du modèle assurent une couverture complète de chaque surface de wafer, avec tous 50 % de chaque champ de vision capturé et inspecté. 238 comprend également une interface pratique de gestion des données sur PC, offrant aux utilisateurs une analyse en temps réel des données par défaut. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR 238 est un équipement d'inspection fiable et précis qui combine plusieurs technologies innovantes. Ses capacités uniques de détection et sa technologie d'intégration des données simplifient la production de semi-conducteurs, permettant des inspections précises et complètes.
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