Occasion KLA / TENCOR 238 #9395887 à vendre en France

ID: 9395887
Reticle inspection system.
KLA/TENCOR 238 Masque et Wafer Inspection Equipment est un système d'inspection automatisé conçu spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs. L'unité permet une inspection rapide et précise du positionnement des repères d'alignement, des mesures des repères et d'autres exigences de recouvrement des caractéristiques critiques du niveau des plaquettes. Il est capable d'inspecter les caractéristiques sur les matrices bordées de bords et de motifs, y compris les dispositifs de 0,18 micron. L'outil d'inspection automatisé de la machine offre un débit élevé et une grande précision combinée à une gamme de capacités d'inspection pour les caractéristiques de niveau de plaquette. Il allie flexibilité supérieure et facilité de programmation et permet d'inspecter rapidement l'alignement des caractéristiques de filière et de conteneur et d'autres positionnements de repères d'alignement critiques. KLA 238 consiste en un atout double source optique avec à la fois le champ lumineux et l'éclairage du champ sombre, permettant l'inspection automatisée des motifs positifs et négatifs sur les matrices de silicium et les caractéristiques des conteneurs. Le modèle dispose d'un étage multi-axes avec une fréquence d'image rapide de 8,5 Hz et une précision de 1 micron, ce qui le rend adapté à des applications de haute précision. L'équipement est capable de détecter des images de caractéristiques spécifiquement ciblées ; par exemple, la mesure de la position et de la taille des marques d'alignement. Il peut comparer des chevauchements entre différents niveaux, et peut même mesurer de petites caractéristiques telles que des structures de sous-microns. Le système TENCOR 238 est intégré à des logiciels avancés, ce qui lui permet d'interagir facilement avec d'autres systèmes de fabrication. Il dispose d'une interface utilisateur flexible et intuitive, et peut facilement et rapidement être programmé pour l'inspection d'une variété de fonctionnalités. L'unité dispose également d'une gamme de procédures de contrôle de la qualité et de gestion des défauts. Il dispose de capacités d'analyse manuelle et automatique des défauts, lui permettant de détecter même des défauts difficiles à trouver. La machine peut identifier des défauts de forme irrégulière, des caractéristiques mal alignées ou manquantes, et d'autres défauts potentiels au niveau de la plaquette. Dans l'ensemble, 238 Masque et Wafer Inspection Tool est un outil puissant et fiable pour détecter les défauts pendant le processus de fabrication. Il permet une inspection rapide et précise des caractéristiques du niveau des plaquettes et permet d'assurer la qualité du produit grâce à ses processus sophistiqués de détection des défauts et de contrôle de la qualité.
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