Occasion KLA / TENCOR 2401 #293774190 à vendre en France

KLA/TENCOR 2401 est un équipement d'inspection des plaquettes et des masques conçu pour répondre à un large éventail d'exigences d'inspection et de métrologie pour l'alignement, l'inspection et le nettoyage des plaquettes et des masques jusqu'à 200 mm de diamètre. Le système dispose de deux caméras indépendantes ultra haute résolution pour capturer des images extrêmement détaillées des surfaces de la plaquette et du masque, permettant des résultats rapides, fiables et précis. L'unité dispose d'un bouclier environnemental breveté qui aide à assurer un environnement exempt de poussière pendant l'inspection, et une station de nettoyage intégrée et une puissante capacité de purge de l'air pour éliminer les particules de poussière qui pourraient avoir été piégées avant le début de l'inspection. Une interface utilisateur intuitive permet à l'utilisateur de configurer les deux caméras pour la capture d'image optimale et l'alignement au microscope. Cela permet de régler des paramètres tels que la plage de grossissement, l'angle de rotation et le mouvement de l'axe z pour capturer avec précision les meilleures images possibles. Les capacités d'inspection et de métrologie automatisées de KLA 2401 comprennent également une vaste bibliothèque d'algorithmes d'analyse d'images conçus pour les défauts durs et souples. Cela peut détecter une large gamme de défauts dans une plaquette ou masquer jusqu'à une résolution de pas de 80nm. La machine peut détecter des défauts tels que des particules isotropes, des lignes et des rayures, ainsi que des paramètres de processus tels que l'uniformité CMP et l'optimisation de la marge CD. L'outil peut fournir des tests électriques pour les courts-circuits et les circuits ouverts du niveau de la filière au niveau du réticule. L'actif peut également fournir un contrôle statistique des processus (RCP) par l'intermédiaire de son générateur de rapports, qui peut produire 10 000 résultats par seconde. Le modèle peut également mesurer le profil d'un silicium traversant (TSV) avant de le remplir d'un matériau conducteur métallique. Cela permet de capturer des détails très fins qui ne sont pas possibles avec le balayage CMP traditionnel. L'équipement peut également être utilisé pour mesurer des paramètres tels que l'orientation de la plaquette, l'épaisseur du film, la rugosité de surface, l'écart de forme et la planéité. TENCOR 2401 est conçu pour être à la fois très fiable et convivial. Le système est conçu pour une précision extrême, une grande vitesse et une longue durée de vie. Ces fonctionnalités, combinées à l'interface utilisateur intuitive, font de la 2401 un excellent choix pour les utilisateurs de l'industrie des semi-conducteurs à la recherche d'un moyen fiable et précis d'inspection et de mesure des plaquettes et des masques.