Occasion KLA / TENCOR 2410 Viper #293592063 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293592063
Macro defect inspection system
Boards included
Parts have been removed:
Robot / Robot controller
Vacuum reserve tank.
KLA/TENCOR 2410 Viper est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour maximiser la précision et la qualité de la production. Il s'agit d'un système automatisé d'inspection en ligne des plaquettes conçu pour permettre une inspection rentable des couches d'appareils, fournissant une imagerie haute résolution et l'analyse des défauts. KLA 2410 Viper peut déterminer la présence et l'absence de défauts critiques pour permettre le rejet rapide de pièces hors spécification. L'unité offre une résolution d'acquisition d'image supérieure et une capture d'image à grande vitesse, une capture et un traitement automatisés des images, et des résultats reproductibles. TENCOR 2410 Viper est équipé d'une machine optique de pointe, composée de deux objectifs ultraviolets, quatre objectifs télécentriques, une caméra CCD et trois lignes laser. Grâce à la technologie du faisceau électronique à balayage, le 2410 permet une capacité d'imagerie précise au nanomètre, avec une résolution inférieure à 0,5 micron. L'outil dispose de trois lignes laser pour la capture d'image (reconnaissance optique des caractères, détection des défauts et balayage des contours). La ligne OCR permet d'identifier et d'évaluer les superpositions, au moyen d'images rétroéclairées, tandis que son imagerie de 0,5 µm permet de lire des caractéristiques aussi petites que 6 µm. La ligne de détection des défauts est une ligne à haute résolution utilisée pour identifier et dimensionner des défauts aussi petits que 2 µm. La ligne de balayage de contour aide à mesurer la précision de recouvrement et est utilisée pour fournir une vue 2D de tout défaut de filière. 2410 Viper dispose également de l'ajout et du référencement automatisés de 100s de champ de vues dans un outil sans avoir besoin d'étalonnage manuel. Il est également capable d'automatiser la classification des défauts, le regroupement d'images et la comparaison trame à trame, lui permettant d'identifier les mêmes défauts dans les images successives. KLA/TENCOR 2410 Viper peut fournir des résultats rapides et reproductibles, même sur un grand groupe de plaquettes, afin d'assurer un débit rapide et un temps d'arrêt minimum. De plus, les algorithmes brevetés KLA d'inspection des plaquettes améliorent la précision, résolvent les risques et réduisent la perte de rendement des appareils. En combinant des résultats précis et reproductibles, KLA 2410 Viper est l'atout idéal pour inspecter les puces semi-conductrices modernes et de haute densité.
Il n'y a pas encore de critiques